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真空封管机
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价格:¥电议
更新日期:2024/9/9 16:34:21
生 产 地:中国大陆
产品型号:KT-1ZF
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详细内容
铬是受欢迎的金属之一。铬是一种银色,有光泽,坚硬,含杂质的铬硬而脆,具有很高的耐腐蚀性。它的熔点为1857℃,密度为7.2g / cm3,。它的名字来自希腊语“chroma",意思是颜色,因为它的颜色非常丰富。它广泛用于汽车工业,形成轮子和保险杠上的闪亮涂层。
熔点(°C)1857 密度(g / cm3)固态7.19 液体6.9 沸点: 2672.0 ℃ 热导率:90.7W/m.K (300K)
铬粉末
铬颗粒

-热蒸发源:电阻式热蒸发舟,交流电源、坩埚蒸发;
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腔体:不锈钢或石英腔体可供客户选择;
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泵:干泵,分子泵;
- Load Lock
样品传输腔室:手动或自动传输,高真空,支持多种样品衬底(选配);
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工艺控制:PC/PLC机制的自动控制、数据处理、工艺记忆储存;
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衬底固定:单衬底固定,客户化衬底固定方式;
- 衬底夹具:加热,冷却,偏置,旋转等;
- 保护样品:配有样品挡板,可手动或自动开/关挡板,达到及时遮挡样品效果;
以下为蒸发镀膜设备的示意图:
以下是不同真空度 不同镀膜时间碳纸镀铜样品图
原样品没有镀膜
115A 100 机械泵
115A 100 分子泵抽12分钟
115A 120 分子泵抽20分钟
真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色

粉末坩埚蒸镀仪KT-Z1650CVD技术资料
| 控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
| 加热方式 | 数字式功率调整器 |
| 镀膜功能 | 0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
| 大功率 | ≤1200W |
| 大输出电压电流 | 电压≤12V 电流≤120A |
| 真空度 | 机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤10^-3Pa |
| 挡板类型 | 电控 |
| 真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm |
| 样品台 | 可旋转φ62 (大可安装φ50基底) |
| 样品台转速 | 8转/分钟 |
| 样品蒸发源调节距离 | 70-140mm |
| 蒸发温度调节 | ≤1800℃ |
| 支持蒸发坩埚类型 | 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 |
| 预留真空接口 | KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
| 可选配扩展 | 机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa) 数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa) 分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa) |


