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小型直流磁控溅射仪

小型直流磁控溅射仪

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价格:¥电议

更新日期:2024/9/9 16:34:21

生 产 地:中国大陆

产品型号:KT-Z1650PVD

简单介绍:小型直流磁控溅射仪,触摸屏控制,时间调节电流控制功率,还可调节镀膜时间,有工艺储存功能方便下次使用和工艺一致

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相关标签:磁控溅射仪,小型溅射仪,直流溅射仪

详细内容

小型直流磁控溅射仪,

轻便、溅射面积大
靶材可按用户要求加工制作

小型离子溅射仪信息由南京舜仪实验设备有限公司为您提供,如您想了解更多关于小型离子溅射仪报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴材料,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴材料,氧气为离子溅射仪常用的反应气体

。

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小型直流磁控溅射仪技术参数;

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V 电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62 (可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa)

预留真空接口

KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口

磁控溅射仪,小型溅射仪,直流溅射仪

采购记录

优质供应

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