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小型直流磁控溅射仪
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价格:¥电议
更新日期:2024/9/9 16:34:21
生 产 地:中国大陆
产品型号:KT-Z1650PVD
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详细内容
轻便、溅射面积大
靶材可按用户要求加工制作
小型离子溅射仪信息由南京舜仪实验设备有限公司为您提供,如您想了解更多关于小型离子溅射仪报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询
离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴材料,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴材料,氧气为离子溅射仪常用的反应气体
。
。
小型直流磁控溅射仪技术参数;
| 控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
| 溅射电源 | 直流溅射电源 |
| 镀膜功能 | 0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
| 功率 | ≤1000W |
| 输出电压电流 | 电压≤1000V 电流≤1A |
| 真空 | 机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa |
| 溅射真空 | ≤30Pa |
| 挡板类型 | 电控 |
| 真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
| 样品台 | 可旋转φ62 (可安装φ50基底) |
| 样品台转速 | 8转/分钟 |
| 样品溅射源调节距离 | 40-105mm |
| 真空测量 | 皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa) |
| 预留真空接口 | KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |


