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郑科探KT-G1DQX 半导体行业微波等离子去胶机 等离子清洗机配件
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更新日期：2026/7/21 11:11:53
生 产 地：中国大陆
产品型号：KT-G1DQX
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详细内容
等离子清洗机作为一种微观固体表面的处理设设备，是一种全新的表面处理方案。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗机是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁等目的。
KT-S2DQX型等离子清洗机电源属于150W 13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备，主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装、COG、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
该清洗机内置高纯石英仓体，容积为2升。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空 气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，即减少了空间的占用，更便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作，特别适用科学实验 样品清洗 和教学。
三：主要技术要求
| 1：供电电源 | AC220V（AC110V可选) |
| 2：工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
| 3：射频电源功率 | 150W |
| 4：射频频率 | 13.56MHz |
| 5：频率偏移量 | ＜0.2MHz |
| 6：特性阻抗 | 50欧姆，手动匹配 |
| 7：耦合方式 | 电容耦合 |
| 8：真空度 | ≤50Pa |
| 9：腔体材质 | 高纯石英 |
| 10：腔体容积 | 2L(内径110MMX深度220MM) |
| 11：观察窗内径 | Φ50 |
| 12：气体流量 | 0—50ml/min（其他量程可选） |
| 13：过程控制 | 过程手动控制 |
| 14：清洗时间 | 手动开关 |
| 15：开盖方式 | 铰链侧开式法兰 |
| 16：外形尺寸 | 450x450x360mm |
| 17：真空室温度 | 小于65°C |
| 18：冷却方式 | 强制风冷 |
滚筒等离子清洗机,半导体行业等离子去胶机
