超高分辨场发射扫描电子显微镜

通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的佳性能。

• 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
• 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的佳性能
  (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
• 采用污染小、高真空样品仓
• 运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成
• 分对比度*2

*2

仅限Regulus8240/8230/8220

项目			Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
二次电子分辨率			0.7 nm （加速电压15 kV） 0.8 nm （着陆电压1 kV）*3	0.6 nm（加速电压 15 kV） 0.7 nm（着陆电压 1 kV）*3
着陆电压			0.1～2 kV	0.01～20 kV
放大倍率			20～1,000,000倍*4	20～2,000,000倍*4
样品台	样品台控制		3轴马达台（可选5轴马达台）	5轴马达驱动
	移动范围	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
		Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
		R	360°
		T	-5～70°
		Z	1.5～30 mm		1.5～40 mm
	再现性		-	-	-	±0.5 µm以下含±0.5 µm

*3

减速模式下观察

*4

以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率