半导体行业专用水蒸气发生器

亿科半导体行业专用水蒸气发生器

半导体行业专用水蒸气发生器的蒸汽出口温度可到1000℃，液态水蒸发量达100mL/min，汽化率100%，汽化通道无死体积，集控制、高效能、轻量化与一体，通过精密计量泵控制进液量，经相变汽化模块将液分散成液膜再换热转化成水蒸气，稳定地将一路液体蒸发。自主研发的相变汽化模块优势：蒸发混合稳定并有非常宽的蒸发范围。它的应用范围较广泛，主要为实验室产生流量可调、温度可控的水蒸气，也可作为液体的相变发生器。

可支持客户各种进出口接口形式的定制；可支持远程控制；可支持实时在线数据的读取与保存；设备体积小，轻便，只有传统蒸气发生器体积的十分之一；设备寿命长，正常使用5年以上，过程中无任何易损耗材需更换。