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等离子体表面处理仪批发价
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详细内容
EMS1050等离子体表面处理仪批发价

产品详情:
EMS1050 低温灰化仪
应用领域:
l 生物芯片领域
l 医用材料、光学材料研究
l 电子半导体领域
l 高分子材料研究
l 电化学、零部件处理
l 有机材料的灰化、刻蚀
仪器性能:
l 自动调频高频发生器
l 内置旋转真空泵
l 此系统通常使用氧及氩的混合气体,氧去除有机物质(碳氢化合物),氩对样品表面进行刻蚀
l 低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF)
l 真空监测.
l 双重气流针阀控制
l 精确时间定时
l 微处理器程序设置
l LCD状态数字显示
l 腔室为圆柱形,样品装载为抽屉式抽拉系统,样本操作方便
l 聚碳酸脂安全防护
技术参数:
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