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冷阴皮拉尼复合真空规
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品牌名称：$brandModel.Title型号：INFICON 原产地：中国大陆 更新时间：2026/10/28 12:21:37
产品摘要：INFICON MPG400/MPG401 冷阴皮拉尼复合真空规
INFICON的冷阴和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.
INFICON的冷阴和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.
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详细内容
INFICON MPG400/MPG401 冷阴皮拉尼复合真空规
INFICON MPG400/MPG401 冷阴皮拉尼复合真空规
产品介绍
INFICON复合真空规 （冷阴和皮拉尼的复合）
型号：MPG400和MPG401,
INFICON的冷阴和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.
优点：
复合真空规—冷阴与皮拉尼
宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压
无可烧毁的灯丝
卓越的引燃功能
易清洗
FPM或金属密封的馈入件
高压加上时LED指示灯亮
对数模拟输出讯号
应用：
高真空压强监测
蒸发和溅射系统的压强测量
般真空测量和控制，从中至高真空范围
技术参数：
测量范围 （空气, N2）
毫巴（乇）
5 x 10-9… 1000 （3.8 x 10-9… 760）
精度 （N2） 1 x 10-8 … 100毫巴
% 读值
≈±30%
重复性1 x 10-8 … 100毫巴
% 读值
≈±5%
安装方向
任何
允许压强
巴（绝对）
≤10 （限于惰性气体）
允许温度
工作 （室温）
贮存
烘烤 1）
灯丝温度 （皮拉尼）
°C
°C
°C
°C
+5 … +55
–40 … +65
150
120
电源电压
在规管上
V DC
+15 … +30
在供电单元上, 大电缆长度 2）
V DC
+16 … +30
纹波
Vpp
≤1
功耗
W
≤2
连接保险丝
AT
≤1
输出讯号（测量讯号）
电压范围
V
0 … +10.5
测量范围
V
+1.82 … +8.6
电压与压强的关系
对数, 0.6 V/量
误差讯号
V
<0.5 （无电源）
V
>9.5 （皮拉尼传感器, 灯丝断裂）
输出阻抗
?
2 x 10
小负载阻抗
k?
10, 短路保护
响应时间 p > 10-6 毫巴
毫
<10
p = 10-8 毫巴
毫
≈1000
规管标识
k?
85, 参考电源公共点
状态
仅皮拉尼模式
V
0 （低）
复合皮拉尼 / 冷阴模式
V
15 … 30 （高）
指示灯
LED 绿色
高压on
电气连接
FCC 68 设备连接件, 8脚,凹型
传感器电缆
8芯,加屏蔽
电缆长度
米
≤50 （8 x 0.14 毫米2）
工作电压
千伏
≤3.3
工作电流
微安
≤500
暴露于真空的材料
不锈钢, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
不锈钢, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W
内容积
厘米3
≈20
重量
DN 25 ISO-KF
克
≈700 ≈730
DN 40 ISO-KF
克
≈720 ≈750
DN 40 CF-F
克
≈980 ≈1010
保护别
IP 40
标准
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1
INFICON MPG400/MPG401 冷阴皮拉尼复合真空规
INFICON MPG400/MPG401 冷阴皮拉尼复合真空规
产品介绍
INFICON复合真空规 （冷阴和皮拉尼的复合）
型号：MPG400和MPG401,
INFICON的冷阴和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.
优点：
复合真空规—冷阴与皮拉尼
宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压
无可烧毁的灯丝
卓越的引燃功能
易清洗
FPM或金属密封的馈入件
高压加上时LED指示灯亮
对数模拟输出讯号
应用：
高真空压强监测
蒸发和溅射系统的压强测量
般真空测量和控制，从中至高真空范围
技术参数：
测量范围 （空气, N2）
毫巴（乇）
5 x 10-9… 1000 （3.8 x 10-9… 760）
精度 （N2） 1 x 10-8 … 100毫巴
% 读值
≈±30%
重复性1 x 10-8 … 100毫巴
% 读值
≈±5%
安装方向
任何
允许压强
巴（绝对）
≤10 （限于惰性气体）
允许温度
工作 （室温）
贮存
烘烤 1）
灯丝温度 （皮拉尼）
°C
°C
°C
°C
+5 … +55
–40 … +65
150
120
电源电压
在规管上
V DC
+15 … +30
在供电单元上, 大电缆长度 2）
V DC
+16 … +30
纹波
Vpp
≤1
功耗
W
≤2
连接保险丝
AT
≤1
输出讯号（测量讯号）
电压范围
V
0 … +10.5
测量范围
V
+1.82 … +8.6
电压与压强的关系
对数, 0.6 V/量
误差讯号
V
<0.5 （无电源）
V
>9.5 （皮拉尼传感器, 灯丝断裂）
输出阻抗
?
2 x 10
小负载阻抗
k?
10, 短路保护
响应时间 p > 10-6 毫巴
毫
<10
p = 10-8 毫巴
毫
≈1000
规管标识
k?
85, 参考电源公共点
状态
仅皮拉尼模式
V
0 （低）
复合皮拉尼 / 冷阴模式
V
15 … 30 （高）
指示灯
LED 绿色
高压on
电气连接
FCC 68 设备连接件, 8脚,凹型
传感器电缆
8芯,加屏蔽
电缆长度
米
≤50 （8 x 0.14 毫米2）
工作电压
千伏
≤3.3
工作电流
微安
≤500
暴露于真空的材料
不锈钢, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
不锈钢, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W
内容积
厘米3
≈20
重量
DN 25 ISO-KF
克
≈700 ≈730
DN 40 ISO-KF
克
≈720 ≈750
DN 40 CF-F
克
≈980 ≈1010
保护别
IP 40
标准
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1
热门标签：INFICON,MPG400/MPG401,冷阴皮拉尼复合真空规
