当前位置:阿仪网 > 武汉市艾德宝仪器设备有限公司 > 产品展示 > 实验室水质分析仪器 > 帝通电子TEIT > 日本filmetrics对准自动膜厚测量系统F60

主要特点
F50高端机型,带缺口检测、自动基线功能和互锁机制
自动测量对准、基线和薄膜厚度映射
服务

产品完善度:
更新时间:2026/10/28 7:21:57关注度:646
关键词标签:日本filmetrics对准自动膜厚测量系统
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F60自动测绘膜厚测量系统是F50的高端机型,具有缺口检测、自动基线功能和互锁机制。
只需将样品放在载物台上,然后单击测量按钮即可自动执行对齐、基线和膜厚映射。
| 抗蚀剂、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等 |
| 380 – 1050nm | 190 – 1100nm | 950 – 1700nm | 380 – 1700nm |
| 20nm – 70μm | 5nm – 40μm | 100nm – 250μm | 20nm – 250μm |
| ± 0.2% 薄膜厚度 | ± 0.4% 薄膜厚度 | ± 0.2% 薄膜厚度 | |
| 2纳米 | 1纳米 | 3纳米 | 2纳米 |
可以测量硅晶片上的氧化膜、抗蚀剂等。只需设置样本,对齐、参考等将完全自动完成。
| 抗蚀剂、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等 |
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