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技术文章
探针台种类的划分方式
点击次数：493 发布时间：2026/7/1 14:11:23
探针台的分类维度十分丰富，不同的划分方式对应着差异化的使用场景，核心分类逻辑贴合行业实际应用习惯自然展开。
从行业*常用的基础分类逻辑来看，依据操作自动化程度就能覆盖从研发到量产的全场景需求。手动探针台*全依靠人工完成探针对位、样品移动等操作，整体成本偏低，很适合高校实验室、小批量样品的基础研发测试，只是对操作人员的熟练度有一定要求。半自动探针台搭载电动位移平台，可实现部分自动化操作，兼顾了精度与效率，是中小规模晶圆测试、工艺验证场景的主流选择，能轻松适配6到8英寸晶圆的常规测试需求。全自动探针台集成了自动晶圆传输、视觉对位、探针卡自动更换系统，无需人工持续干预，定位精度可达±1.5μm，适配12英寸及以上晶圆的大规模量产CP测试，是制程产线的核心配置。
针对不同特殊测试需求，行业内还衍生出了按功能与测试环境划分的专用品类。温控高低温探针台支持从液氮温区到300℃以上的宽温域测试，用来验证器件在*端温度下的性能稳定性。真空探针台能提供高真空环境，消除空气放电、结霜和氧化带来的干扰，适配超导材料、微光电器件的测试工作。射频探针台搭载GSG共面波导探针，支持DC至67GHz甚至更高频段的S参数、噪声系数测试，多用于5G与毫米波器件的性能表征。双面探针台可以同时从晶圆正反两侧完成探针对位，适配3D堆叠芯片、“上电下光”这类特殊器件的测试需求，除此之外还有LCD平板探针台、霍尔效应探针台、表面电阻率探针台等诸多细分专用类型。
从核心结构与适配规格的角度，行业内也有一套成熟的划分方式。依据X-Y工作台的结构差异，可分为滚珠丝杠副加导轨结构、平面电机步进工作台两类，2024年滚珠丝杠结构的全自动探针台市场占比已经超过65%。按照适配晶圆尺寸的不同，相关产品覆盖了4英寸、5英寸、6英寸、8英寸直至12英寸的全规格，大家可以根据产线主流晶圆尺寸灵活选型。针对低温测试的细分场景，低温探针台还能按照制冷方式分为无液氦低温探针台、消耗制冷剂低温探针台两类，适配不同的极低温测试场景。
原创作者：北京锦正茂科技有限公司
