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技术文章
高温磁场加热系统 GC350-200的技术参数
点击次数：588 发布时间：2026/6/8 10:05:49
高温（磁场）退火炉系统，可以在高温和外加磁场条件下对需要处理的样品进行退火处理。通过系统软件，可以设定温度和磁场变化曲线，从而实现所需的退火步骤。此系统操作简单方便，可以轻松达到改善材料性能、改变材料中原子磁矩的方向和排布等目的。
锦正茂高温磁场退火炉是由升温高温炉，高温炉加热电源，Labview控制软件，电磁铁，双极性恒温电源，分子泵组，水冷机组共同组成的一套反馈调节的加热系统。
GC350-200主要技术指标：
※ 温度范围：室温-350℃（硅片上边温度）
※ 控温精度：±1℃
※ 温度分辨率：0.1℃
※ 样品尺寸：8英寸（需要有固定夹具，还有10mmx10mm,20mmx20mm样品也需要考虑单独固定）
※ 样品温度：精圆上单独放一个温度计，测量精圆表面温度（温度计封装在镀金无氧铜块内，铜块与精圆接触测 温，使用比较细的软线方便移动与测量）
※ 磁场强度：＞1000oe（样品测试处磁场）
※ 持续工作时间：5小时
※ 样品台尺寸：210mm （根据实际可更改，不小于8英寸），
※ 样品台采用三维移动方式，移动行程:±110mm,移动精度：10um
※ 样品台主要零部件材质均为**无磁合金制作；
※ 在室温到350度，升温速率优于10K/min，*高加热温度350℃；控温精度：±1℃；
※ 加热时，加热丝被封装在石英管内，极大程度的减少由于加热丝的挥发造成样品表面附着物的污染；
※ 匹配磁铁电源：双极性，稳定度优于±25ppm/h，平滑过零无断点；
※ 匹配电磁铁：长时间运行稳定度<±0.5Gs；
※ 冷却方式：自然冷却。
原创作者：北京锦正茂科技有限公司
