透射电镜样品杆清洗机
价格：￥ 电议
品牌名称：$brandModel.Title型号：CIF-TEM 原产地：中国大陆 更新时间：2026/10/12 16:21:17
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详细内容
产品型号：
CIF-TEM
一、应用领域
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
二、设备特点
u 远程离子清洗源u
u 一机多用
u 清洗高效快速，低轰击损伤
三、设备参数
产品型号 | CIF-TEM |
等离子电源 | 13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-150W可调 |
远程等离子源，自动匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸Ø180xH100mm |
清洗数量 | 可同时清洗3支TEM样品杆 |
适配品牌 | 美国THERMO FISHER（FEI）、日本日立（HITACHI）、日本电子（JEOL） |
气体控制 | 标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 | 皮拉尼真空计，测量范围1.0E-5Pa~1E+5Pa |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
真空泵 | 前级泵 |
抽气速率2.5 平方米/时 | |
分子泵 | |
极限真空：LF<8*10-6Pa，CF<8*10⁻⁷Pa | |
分子泵抽速85L/s（N2） | |
入口法兰：DN63ISO-K(LF)/ CF | |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
电 源 | AC220V、50/60Hz，300W |
产品尺寸 | L565xW505xH560mm |
包装尺寸 | L715xW655xH820mm |
整机重量 | 68kg |
热门标签：TEM清洗机,真空检漏,远程离子清洗源
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