技术文章
中试生产型等离子清洗机
点击次数：1675 发布时间：2025/9/22 16:03:40
中试生产型等离子清洗机
http://www.app17.com/c155030/products/d14471230.html
产品型号：
CPC-15/35/80/120/150
一、应用领域
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
二、设备特点
u 7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动监测工艺参数状态，20个配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据。
u PLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。
u 采用质量流量计，气体流量控制更准确。标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统。可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气体等气体。
u 采用多孔道进气方式，改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
u HEPA高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。
u 316不锈钢真空舱，洁净无污染。
u 全真空管路系统采用316不锈钢材质。
u 处理高效均匀，效率高，工艺重复性好。
u 合理的结构设计，设备占用空间小。
u 可处理各种材质、形状、尺寸样品。
u 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。
u 使用成本低、耗损小。
u 产品性能稳定，安装维护，简单方便。
u 安全保护，舱门打开，自动关闭电源。
三、设备参数
型号 | CPC15 | CPC35 | CPC80 | CPC120 | CPC150 |
舱体尺寸 | W240xH240 xD260mm | W320xH320 xD350mm | W420xH400 xD500mm | W500xH500 xD450mm | W500xH500 xD600mm |
舱体容积 | 15L | 35L | 80L | 120L | 150L |
舱体材质 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 |
处理尺寸 | W240xD220mm | W320xD320mm | W420xD470mm | W500xxD420mm | W500xxD570mm |
电极分布 | 2层 | 3-4层 | 6层 | 8-10层 | 10-15层 |
射频电源 | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz |
射频功率 | 0-300W | 0-300W | 0-600W | 0-1000W | 0-1000W |
匹配器 | 自动匹配器 |
激发方式 | 电容式 |
电流 | 1.2A |
时间设定 | 9999秒 |
气体稳定时间 | 1分钟 |
真空度 | 100pa以内 |
控制系统 | 7寸PLC触摸屏控制 |
工艺气体 | 2气路 MFC（可选装3路） |
产品尺寸 | L625xW600 xH760mm | L625xW600 xH805mm | L905xW845 xH1940mm | L625xW600 xH760mm | L905xW845 xH2010mm |
包装尺寸 | L740xW775 xH1000mm | L740xW775 xH1045mm | L1015xW1065 xH2050mm | L1015xW1065 xH2120mm | L1015xW1065 xH2120mm |
真空泵 | 抽速约8平方米/时 | 抽速16平方米/时 | 抽速40平方米/时 | 抽速60平方米/时 | 抽速约60平方米/时 |
电源 | AC220V 50/60Hz 552W | AC220V 50/60Hz 552W | AC380V 50/60Hz 902W | AC380V 50/60Hz 1302W | AC380V 50/60Hz 1302W |
整机重量 | 108kg | 135kg | 465kg | 485kg | 575kg |
推荐产品
第3年
在线咨询5分钟应答
