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旭阿科技（上海）有限公司 主营产品：水份测定仪，恒温恒湿箱，热像仪，发射率测量仪，全自动焊锡机

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技术文章

扫描电镜等离子清洗机

点击次数：1648 发布时间：2025/9/22 16:02:55

扫描电镜等离子清洗机
http://www.app17.com/c155030/products/d14471301.html

产品型号：

CIF-SEM

CIF扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计，清洗快速、高效、低轰击损伤，主要用于SEM或FIB等腔体内碳氢化合物的清洗。与国内外知名厂商电镜配套使用。

一、应用领域

等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。

二、设备特点

u 远程等离子清洗源

u 清洗快速、高效

u 低轰击损伤

三、设备参数

产品型号

CIF-SEM

法兰接口

KF40（CF40）

工作气压

0.3-3Pa

等离子电源

13.56MHz射频电源，射频功率5-150W可调

远程等离子源，自动匹配器

气体控制

标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面

电源/功率

AC220V，50/60Hz，320W

可选配件

可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-500SCCM

质量保证

二年质保，终身维护

产品尺寸

L320xW385xH465mm

包装尺寸

L440xW535xH725mm

整机重量

25kg


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