等离子清洗机
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产品型号：

CPC-Fplus

一、应用领域

等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。

二、设备特点

u 7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20个配方程序，工艺数据可存储追溯。

u PLC控制整个清洗过程，全自动清洗。

u 采用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计或质量流量计(CPC-FM)，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体控制良好。

u 气体返填吹扫，HEPA高效过滤，防止二次污染。

u 316不锈钢、石英真空舱可选择，全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。

u 内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门不易损坏。

u 处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。

三、设备参数

1. 发生器频率：13.56Mhz

2. 功率：0-150W无极可调

3. 匹配器：自动匹配

4. 激发方式：电感式或电感耦合（可选）

5. 气体控制：质量流量计（MFC）或浮子流量计（可选）

6. 舱体尺寸：D200xΦ155mm

7. 舱体材质：不锈钢或石英玻璃

8. 舱体容积：3.8-5L

9. 有效处理尺寸：L200xW155mm

10. 时间设定：9999秒

11. 真空泵：抽速4平方米/时

12. 气体稳定时间：1分钟

13. 真空度：100pa以内

14. 电源：AC220V 50/60Hz 766/316W

15. 产品尺寸：L440xW410xH455mm

16. 包装尺寸：L560xW560xH685mm

17. 整机重量：32kg