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CPC-Auto在线片式真空等离子清洗机
点击次数：1811 发布时间：2025/8/11 16:30:19
CPC-Auto在线片式真空等离子清洗机
http://www.app17.com/c155030/products/d14472120.html
产品：
CPC-Auto
一、应用领域
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
CPC-Auto在线片式真空等离子清洗机具有成本较低、容易使用，维护乃保养费用低，环保等优点。适用于芯片粘结工艺前、引线键合和覆晶封装工艺前的表面处理，与传统独立式的等离子清洗机相比，在线片式真空等离子清洗机具有自动化程度高、清洗效率高、设备洁净度高、适用范围广等优点，适用于大规模全自动化生产。
二、设备特点
u 轨道宽度可调，可选择同时清洗四种不同宽度的产品。
u 片式清洗，清洗效果好。
u 单边上下料结构，无需更换料盒，清洗后的产品自动回到原来的料盒，杜绝混批。
u 双清洗托盘，一个清洗的同时另一个备料，提高生产效率。
u 一键更换产品，设备所有参数及设置自动加载，无需人工设定。
u 手动清洗与自动清洗均一键操作，操作简单。
u 多重安全设计，确保产品不会造成变形损坏。
u 四条通道独立检测，判断问题。
u 多重安全设计，确保人身安全。
u 模块化设计，设备运行稳定。
三、设备参数
电源系统 | 射频电源 | 13.56MHz |
射频功率 | 0-600W |
真空系统 | 真空管路 | 全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 |
材质 | 铝合金 |
密封性 | 一体成型 |
腔体体积 | 9.6L |
腔体尺寸 | 550*350*50 |
适用产品尺寸 | 180-280mm*25-90mm(长x宽） |
适用料盒尺寸 | 180-290mm*25-93X250mm(长X宽X高) |
通道数量 | 标准4条(可定制) |
电极板大小 | 520x320mm |
等离子激发时间 | 等离子激发清洗时间 | 5Sec |
产量 | UPH | 480(蛇皮时间10S,4条流道时) |
清洗能力 | 水滴角 | 水滴角测试<12° |
流量范围 | 0-300Sccm |
工艺气体 | 标配2路，可定制氩气：3bars 1L/min 氮气：3bars 1L/min |
其它参数 | 电源 | AC 380V 5.5KW |
外形尺寸 | 1920X1120x2170mm |
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