光学轮廓仪-台阶高度测量、表面粗糙度测量

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Profilm3D光学轮廓仪-台阶高度测量、表面粗糙度测量

一、产品简介：

Filmetrics 让光学轮廓测量价格更实惠，性价比更高. Profilm3D 使用了进的垂直扫描干涉 (VSI) 结合高精确度相移干涉 (PSI) 测量.以前所未见的价格使得表面形貌研究进入次纳米等级。通过光学扫描仪扫描表面轮廓可进行台阶高度测量，表面粗糙度测量
二、产品特点：

（1）100毫米自动XY样品平台， 我们每台Profilm3D 都已将自动XY样品平台以及tip/tilt 功能列为标准配备

（2）The Profilm3D以10倍物镜优异地提供更宽广的2毫米视野, 其数位变焦功能有助于缓解不同应用时切换多个物镜的需要. 可进一步减少总体成本. 本司也提供手动或自动物镜切换炮塔等配置可弹性运用于需使用多物镜应用之样片。

（3）测量速度快，精度高，操作便捷，软件使用可视化

三、产品参数：

（1）技术参数

厚度范围, VSI 50 nm - 10 mm
厚度范围, PSI 0 - 3 μm
RMS 重复性,VSI 1.0 nm
RMS 重复性, PSI 0.1 nm
台階高度 准确性 1 0.7%
台階高度 重复性 2 0.1%
樣品反射率範圍 0.05% - 100%
ISO 25178 兼容 是
（2）机械部件规格

Z 范围 100 mm
Piezo (压电)范围 500 μm
垂直扫描速度 12 μm/sec
XY 平台类型 自动
XY 平台范围 100 mm x 100 mm
Tip/Tilt 平台 +/- 5°, 手动
相机 2592 x 1944 (5 百万像素)
相机变焦 3 1X, 2X, 4X
系统尺寸，宽x深x高 300 mm x 300 mm x 550 mm
系统重量 15 公
（3）物镜选项

（4）选配

– 手动 4-物镜筒及位置感应器
– 自动 4-物镜筒及位置感应器

四、应用实例

（1）台阶高度测量

Profilm3D光学轮廓仪测量台阶高度时，用户可选取或截取任意扫描区域，并经行任意角度转换。通过鼠标拖拽即可在3D视窗中完成任意角度的翻转

（2）表面粗糙度测量

Profilm3D光学轮廓仪测量台阶表面粗糙度时，用户可选取或截取任意扫描区域，并经行任意角度转换。通过鼠标拖拽即可在3D视窗中完成任意角度的翻转。可测量倾斜面、非倾斜面的的粗糙度

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