晶圆涂层测厚、圆晶薄膜厚度测量仪

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FR-pRo: 按需可灵活搭建的薄膜特性表征工具
晶圆涂层测厚、圆晶薄膜厚度测量仪

一、产品简介：

FR-pRo 是一个模块化和可扩展平台的光学测量设备，用于表征厚度范围为1nm-1mm 的涂层.FR-pRo 是为客户量身定制的，并广泛应用于各种不同的应用 。按需可灵活搭建的薄膜特性表征工具，应用于半导体材料厚度测量、非金属材料厚度测量、光学掩膜、介电薄膜、晶圆表面涂层厚度测量、圆晶薄膜厚度测量、硅片表面涂层材料厚度测量，研究透光性材料的工具。

FR-pRo 可由用户按需选择装配模块，核心部件包括光源，光谱仪（适用于 200nm-2500nm 内的任何光谱系统）和控制单元，电子通讯模块
此外，还有各种各种配件，比如:
▪ 用于测量吸收率/透射率和化学浓度的薄膜/试管架,
▪ 用于表征涂层特性的薄膜厚度工具,
▪ 用于控制温度或液体环境下测量的加热装置或液体试剂盒,

▪ 漫反射和全反射积分球

通过不同模块组合，最终的配置可以满足任
何终端用户的需求

二、应用领域

o 弯曲基材（衬底）上的硬/软涂层

o 聚合物涂层、粘合剂等

o 生物医学（ parylene—— 派瑞林,气泡壁厚,等等 )

O 半导体生产制造：(光刻胶, 电介质,光子多层结构， poly-Si,Si, DLC )
o 光伏产业（涂层）
o 液晶显示
o 光学薄膜
o 聚合物薄膜
o 微机电系统和微光机电系统
o 基底: 透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明膜层

三、产品特点
o 单点分析(无需预设值）
o 动态快速测量
o 包括光学参数(n和k，颜色)
o 为演示保存视频
o 600 多种的预存材料
o 离线分析
o 免费软件更新

四、技术参数

五、工作原理

白光反射光谱（WLRS）测量方法是在一定波长范围内，分析垂直于样品表面的入射光和从单层或多层堆叠薄膜反射的反射光谱的分析方法。

由界面&表面产生的反射光谱被用于确定独立和附着于基底（在透明或部分/全反射基底上）的堆叠膜层的厚度、光学常数（n&k）等。

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