AFM原子力显微镜主动减震台-隔震台-防震台

用途：广泛用于蔡司ZEISS、莱卡Leica、日立HITACHI、日本电子JEOL等品牌的大型电子显微主动除震台，以及半导体设备主动除震台、大型干扰仪除振台、电子天平精密设备主动除震台。适用于各类大型显微镜AEM\SEM\ATM\TEM

产品亮点：

• 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振)

• 5-20ms响应时间

• 低频隔振性能优异,安装和使用简单

• 系统主动检测输入振动并动态消除

• 紧凑、模块化的多功能设计

• 稳定性高，能无故障连续使用多年

• 无低频共振、无空气要求

应用范围：

• 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）

• 光刻工具

• 高精度计量工具

• 光谱仪器

• 升级选项：

• 可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

技术参数：

• 型号：AVI-400M

• 系统配置：独立隔振装置 & 控制装置

• 主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz

• 被动隔振范围:大致为200 Hz以上

• 显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。

• LEDs 指示输出阶段的过载情况。

• 单元尺寸(每个):190 x 720 x 112.5 Hmm

• 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm

• 隔振单元重量: 20kg

• 负载能力:800 kg (同等/低重心)

• 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

• 功耗：通常18W

• 温度范围：5℃ - 40℃

• 相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)

• 室内/室外使用：仅用于室内