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QFLZ系列精密气浮Z轴
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更新日期：2026/9/24 16:34:23
生 产 地：中国大陆
产品型号：
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详细内容
结构特点
精密气浮Z轴采用非接触式气浮导轨、直线电机驱动和光栅尺组成，开式气浮，永磁预载结构，配置无摩擦重力平衡气缸，有效地抵消电机向上持续输出力，提升精度性能，同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。
精度性能
气浮导轨基于气体动静压效应，实现无摩擦和无振动地平滑移动，重复定位精度±15nm，直线度和平面度±0.2µm，Pitch Yaw ±0.75arc sec，由于非接触式结构，伺服反馈的跟随误差有了质地提升，定位精度和重复精度得到了显著提高。
规格指标
型号 Model | 单位Units | QFLZ-25 | QFLZ-50 | QFLZ⁻⁷5 | QFLZ-100 | |
行程 Travel | mm | 25 | 50 | 75 | 100 | |
补偿后定位精度 Accuracy | 超精版 Ultra | µm | ±0.02 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 |
高精版 Plus | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
普通版 Standard | ±0.1 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ||
单向重复定位精度 Uni-Repeatability | 超精版 Ultra | nm | ±5 | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 |
高精版 Plus | ±20 | ±40 | ±40 | ±40 | ||
普通版 Standard | ±30 | ±75 | ±75 | ±75 | ||
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | 超精版 Ultra | µm | ±0.01 | ±0.01 | ±0.01 | ±0.01 |
高精版 Plus | ±0.025 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | ||
普通版 Standard | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直线度 (1) Straightness | 高精版 Plus | µm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 |
普通版 Standard | ±0.1 | ±0.25 | ±0.25 | ±0.25 | ||
平面度 (1) Flatness | 高精版 Plus | µm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
普通版 Standard | ±0.25 | ±0.35 | ±0.35 | ±0.4 | ||
俯仰、翻滚、偏摆(1) Pitch Roll Yaw | 高精版 Plus | arc sec | ±0.25 | ±0.35 | ±0.35 | ±0.4 |
普通版 Standard | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1 | ||
电子分辨率 Electronic Resolution (2) | nm | ≤ 1,≤ 5（选配） | ||||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) | mm/s | 50 | ||||
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3) | m/s² | 1,（5 定制） | ||||
最大负载 Max Load | kg | 5 | ||||
供气压力 Operating Pressure (4) | MPa | 0.5±0.05 | ||||
型号 Model | 单位Units | QFLZ-125 | QFLZ-150 | QFLZ-175 | QFLZ-200 | |
行程 Travel | mm | 125 | 150 | 175 | 200 | |
补偿后定位精度 Accuracy | 超精版 Ultra | µm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 |
高精版 Plus | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ||
普通版 Standard | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.3 | ||
单向重复定位精度 Uni-Repeatability | 超精版 Ultra | nm | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
高精版 Plus | ±40 | ±40 | ±50 | ±50 | ||
普通版 Standard | ±75 | ±75 | ±75 | ±75 | ||
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | 超精版 Ultra | µm | ±0.01 | ±0.015 | ±0.015 | ±0.015 |
高精版 Plus | ±0.05 | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 | ||
普通版 Standard | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直线度 (1) Straightness | 高精版 Plus | µm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.2 |
普通版 Standard | ±0.4 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 | ||
平面度 (1) Flatness | 高精版 Plus | µm | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 |
普通版 Standard | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||
俯仰、翻滚、偏摆 (1) Pitch Roll Yaw | 高精版 Plus | arc sec | ±0.4 | ±0.5 | ±0.75 | ±0.75 |
普通版 Standard | ±1.5 | ±1.5 | ±1.5 | ±1.5 | ||
电子分辨率 ElectronicResolution (2) | nm | ≤ 1,≤ 5（选配） | ||||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) | mm/s | 50 | ||||
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3) | m/s² | 1,（5 定制） | ||||
最大负载 Max Load | kg | 5 | ||||
供气压力 Operating Pressure (4) | MPa | 0.5±0.05 | ||||
特殊项目 SpecialItems (5) | 单位Units | 数值 Data |
微动步距 Min Incremental Step | nm | 默认,≤ 5, ≤ 50 |
定位纹波 In Position Stability | nm | 默认,≤ 5, ≤ 50 |
速度稳定性 Speed Stability | % | 默认,≤ 4%@1mm/s,≤ 0.2%@10mm/s |
跟随误差 Following Error | nm | 默认,≤ 20nm@10mm/s, ≤ 100nm@10mm/s |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. 取决于平台安装表面的平面度。
2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
4. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25µm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。
5. 无特殊项目要求，出厂默认为准。
