EVG^®7200 Automated SmartNIL^® UV Nanoimprint Lithography S

EVG®7200 自动化SmartNIL®UV纳米压印光刻系统

具有EVG专有的SmartNIL®技术的自动全场UV纳米压印解决方案（最大200毫米）

技术数据

EVG7200系统利用EVG的创新SmartNIL技术和EVG的材料专长来实现微米级和纳米级结构的批量生产。该系统将SmartNIL的高级软印和压印功能带到了更大的基板和更小的几何形状上，批量生产时的分辨率低至40 nm *。这带来了更大的拥有成本（CoO）收益，并实现了纳米压印光刻技术的全部制造潜力。

*分辨率取决于过程和模板

特征

体积验证的压印技术，具有出色的复制保真度

专有的SmartNIL®技术和多次使用的聚合物印模技术

集成式压印，UV固化，脱模和工作印模制作

盒带到盒带自动处理以及半自动R＆D模式

可选的顶部对齐

可选的迷你环境

适用于所有市售压印材料的开放平台

从研发到生产的可扩展性

系统外壳，可实现最佳过程稳定性和可靠性

技术数据

晶圆直径（基板尺寸）75至200毫米；

解析度≤40 nm（分辨率取决于模板和工艺）

支持流程：SmartNIL®

曝光源：大功率LED（i线）> 400 mW /cm²

对准：可选的顶部对齐

自动分离：支持的

迷你环境和气候控制：可选的

工作印章制作：支持的

EVG^®7200 LA

Large-Area SmartNIL^® UV Nanoimprint Lithography System

EVG®7200LA 大面积SmartNIL®UV纳米压印光刻系统

大面积无与伦比的共形纳米压印光刻

技术数据

EVG7200大面积UV纳米压印系统使用EVG专有且经过量证明的SmartNIL技术，将纳米压印光刻（NIL）缩放为第三代（550 mm x 650 mm）面板尺寸的基板。对于不能减小尺寸的显示器，线栅偏振器，生物技术和光子元件等应用，至关重要的是通过增加图案面积来提高基板利用率。 NIL已被证明是能够在大面积上制造纳米图案的最经济有效的方法，因为它不受光学系统的限制，并且可以为最小的结构提供最佳的图案保真度。

SmartNIL利用非常强大且可控的加工工艺，提供了低至40 nm *的出色保形压印结果。凭借独特且经过验证的设备功能（包括无与伦比的易用性）以及高水平的工艺专业知识，EVG通过将纳米压印提升到一个新的水平来满足行业需求。

*分辨率取决于过程和模板

特征

专有的SmartNIL®技术可在大面积区域提供无与伦比的共形烙印

经过验证的技术，具有出色的复制保真度和均匀性

多次使用的聚合物工作印模技术可延长母版使用寿命并节省大量成本

强大且精确可控的处理

与所有市售的压印材料兼容

EVG7200LA技术数据

晶圆直径（基板尺寸）：直径200毫米以下直至Gen3（550 x 650毫米）

解析度：40 nm-10 µm（分辨率取决于模板和工艺）

支持流程：SmartNIL®

曝光源：大功率窄带（> 400 mW /cm²）

对准：可选的光学对准：≤±15 µm

自动分离：支持的

迷你环境和气候控制：可选的

工作印章制作：支持的