Centrotherm 高温退火/氧化系统-Activator/Oxidator 150

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价格：￥电议

更新日期：2025/12/26 15:00:36

生 产 地：欧洲

产品型号：Centrotherm 高温退火/氧化系统-Activator/Oxidator 150

简单介绍：Centrotherm Activator 150 高温炉设计用于SiC或GaN器件注入后退火。Centrotherm独特工艺炉管和加热系统设，允许工艺温度达到 1850 ℃。
此外，Activator 150 系列的产品可以实现生长石墨烯生长。通过碳化硅升华生长石墨层可以获得高性能器件。
Centrotherm 新一代SiC工艺炉管的研发用以满足新兴的