简单介绍：激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、较高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。

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高精度激光干涉仪

激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、较高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。

静态测量

激光干涉仪的系统具有模块化结构，可根据具体测量需求选择不同组件。

基本线性测量配置：

线性测量构建

要进行线性测量，需使用随附的两个外加螺丝将其中的一个线性反射镜安装在分光镜上，这个组合装置就是“线性干涉镜”。线性干涉镜放置在激光头和线性反射镜之间的光路上，用它的反射光线形成激光光束的参考光路，另一束光入射到线性反射镜，通过线性反射镜的线性位移来实现线性测量。如下图所示

激光干涉仪可用于精密机床、三坐标的定位精度、重复定位精度、微量位移精度的测量。测量时在工作部件运动

过程中自动采集并及时处理数据。

软件内置10项常用机床检验标准，自动采集完数据后根据所选标准自动计算出所需误差数据，为机床、三坐标的误差修正提供依据。

利用激光干涉仪对位移传感器检定成为发展趋势，其特点是反应速度快、测量精度高。

准直平台/倾斜工作台的测量

由于角度镜组的不同安装方式，其测量结果代表不同方向的角度值。您可以结合实际需要进行安装、测量。

在直线度测量过程中，可以由直线度干涉镜或者直线度反射镜运动所产生相对于运动轴的横向移动来进行测量，一般尽可能的采用直线度干涉镜相对于直线度反射的运动，这样操作有利于提高测量的准确性和精度。直线度测量可以对水平面和垂直面进行测量，这取决于直线度干涉镜和反射镜安装的方法。

技术指标

?系统性能

测量方式：单频

稳频精度：0.05ppm

动态采集频率：50 kHz

预热时间：5-10分钟

工作温度范围：0-38℃

环境温度范围：0-38℃，环境湿度：0-95%

存储温度范围：-20℃⁻⁷0℃

?环境补偿示值误差

空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

空气湿度传感器：±6% (0-95%)

大气压力传感器：±0.1kPa

?线性测量

测量距离：0-40m

测量精度：0.5ppm (0-38℃)

测量分辨率：1nm

测量速度：3m/sec

?角度测量

轴向量程：0-15m

测量范围：±10°

测量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m）

测量分辨率：0.1″

?平面度测量

轴向量程：0-15 m

测量范围：±1.5 mm

测量精度：±（0.6%R+0.02 M²）µm（R为显示值，单位：µm；M为测量距离，单位：m）

基板尺寸：50mm、100mm、150mm

测量分辨率：0.1µm

?直线度测量

轴向量程：0.1-4.0 m

测量范围：±3.5 mm

测量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M²）µm（R为显示值，单位：µm；M为测量距离，单位：m）

测量分辨率：0.01µm

?垂直度测量

轴向量程：0.1-3.0 m

测量范围：±3.5mm

测量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m）

测量分辨率：0.01µm/m

?回转轴分度精度测量

角度测量范围：0-360°

精密转台角度增量：5°

精密转台分度精度：±1″

精密转台重复性：0.2″

?尺寸重量与供电

便携箱尺寸：560×360×250（基础系统），560×460×270（完整系统）

基本重量(含三脚架，包装)：15Kg

供电电源：110~265VAC

?系统组件：

1)SJ6000主机：1台

2)环境补偿单元：1台

3)光学镜组：

线性测量光学镜组：1套（标准配置）

小型线性光学镜组：1套（选配）

小角度测量光学镜组：1套（选配）

直线度测量光学镜组：1套（选配）

垂直度测量光学镜组：1套（选配）

平面度测量辅助附件：1套（选配）

回转轴测量精密转台：1套（选配）

4)测量软件：1套

5)便携式笔记本电脑：1台

6)便携式仪器配件箱：1个

7)通用三脚架：1个

8)云台附件：1套

9)磁性表座：2套

10)产品使用说明书：1套

11)产品合格证、保修卡：1套

12)免费保修：1年

13)校准证书（选配）

激光频率校准证书：

1）由深圳市计量质量检测研究院出具；

2）由其它机构出具。

环境补偿单元校准证书：
1）由深圳市计量质量检测研究院出具；
2）由其它机构出具。
线性位移校准证书：
1）由中国计量院出具；
2）由其它机构出具。
直线度校准证书：
1）由中国计量院出具；
2）由其它机构出具。
小角度校准证书：
1）由中国计量院出具；
2）由其它机构出具。

3)夏、冬实验室工作服各1件（选配）

高精度激光干涉仪

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