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HORIBA JY 射频辉光放电光谱仪

HORIBA JY 射频辉光放电光谱仪

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更新日期:2026/4/13 21:03:33

生 产 地:

产品型号:Profiler HR

简单介绍:1、射频发生器-标准配置、复合D级标准、稳定性高、溅射束斑极为平坦、等离子体稳定时间极短、表面信息无任何失真。 2、脉冲工作模式既可以分析常规的涂/镀层和薄膜,也可以很好地分析热导性能差和热易碎的涂/镀层和薄膜。 3、Polyscan多道(同时)光谱仪可全谱覆盖,光谱范围从110nm-800nm,可测试远紫外元素C、H、O、N和Cl。 4、HORIBA的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器拥有最大的光通量,因而拥有卓越的光效率GD敏度。 5、高动态检测器(HDD)可快速、高灵敏地检测ppm-100%含量的元素。动态范围为5×1010。 6、宽大的样品室方便各类样品的加载。

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详细内容

GD-Profiler HR拥有独一无二的超高光谱分辨率,为解决复杂基体中的疑难问题提供了适宜、便利的方法。


技术参数:

1、射频发生器-标准配置、复合D级标准、稳定性高、溅射束斑极为平坦、等离子体稳定时间极短、表面信息无任何失真。

2、脉冲工作模式既可以分析常规的涂/镀层和薄膜,也可以很好地分析热导性能差和热易碎的涂/镀层和薄膜。

3、Polyscan多道(同时)光谱仪可全谱覆盖,光谱范围从110nm-800nm,可测试远紫外元素C、H、O、N和Cl。

4、HORIBA的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器拥有最大的光通量,因而拥有卓越的光效率GD敏度。

5、高动态检测器(HDD)可快速、高灵敏地检测ppm-100%含量的元素。动态范围为5×1010。

6、宽大的样品室方便各类样品的加载。

7、功能强大的Quantum软件可以灵活方便的输出各种格式的检测报告。

8、HORIBA独有的单色仪(选配)可极大的提高仪器的灵活性,可实现固定通道外任意一个元素的同步测试,称为n+1。

9、适用于ISO14707和16962标准。

10、GD-Profiler HR多色仪焦距为1米,光谱分辨率可达14pm,最多可同时分析60种元素。

11、GD-Profiler HR可选配焦距为1米的单色仪,最高光谱分辨率达9pm。


更多指标参数请访问HORIBA官网


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