石墨烯CVD制备设备石墨烯CVD
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品牌名称：$brandModel.Title型号：石墨烯CVD原产地：中国大陆 更新时间：2026/10/9 8:12:27
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详细内容
石墨烯CVD制备设备
姓名：贺工(Kevin)
电话：180 1976 2603
邮箱：chinan-he@auniontech.com
这款配置的低真空CVD系统由1200℃真空管式炉,3通道气路系统和真空系统组成,可根据用户需要设计生产有双温区、三温区、多温区),可预抽真空(有高真空、低真空),通多种气氛(供气系统有质子流量控制器和浮子流量控制器〕。真空泵、阀均釆用进口设备,性能可靠。控制电跻选用模糊PD程控技术,具有控温精度髙,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等。
技术参数
1200双温区加热炉
电压 AC220V 50/60Hz
功率 4.5KW 双温控
Max温度 1150 °C
工作温度 ≤ 1100 °C
升温速率 ≤ 15°C/min
温控系统 PID自动控制晶闸管（可控硅）输出功率，30段可编程控制器
恒温精度 ±1°C
石英管 25/50/60/80*1400mm
三路质量流量控制系统
MAX电压 185~245V/50Hz
MAX输出功率 18W
流量计标准量程 50，100，200，500SCCM（非特殊指定以氮气标定，量程可选定）
工作温度 5~45 °C
工作压差 0.1~0.5 MPa
MAX压力 3MPa
准确度 ±1.5%FS
低真空系统
采用双极旋片真空泵
不锈钢充油真空压力表，良好的抗震性
安装过滤器
内置测温系统
测温元件可从加热区边缘延申至温区中心法兰密封，保证炉管的密封性测温元件，N型热电偶
法兰及支撑
304不锈钢快速水冷法兰，长期水冷无腐蚀，一个卡箍就能完成法兰的连接，放取物料方便快捷可调节法兰的支撑，平衡炉管的受力支撑。包含进气，出气，真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合，4个密封硅胶圈等。
可选配件
混气系统，中，高真空系统，各种刚玉坩埚，石英管，计算机控制软件，无纸记录仪，氧含量分析仪，冷却水循环机。
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