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上海昊量光电设备有限公司 主营产品:空间光调制器、声光调制器、电光调制器、光弹调制器、半导体 /固体激光器、高光谱成像系统、可调谐激光器、光纤激光器、高功率光纤、布拉格光栅、光束质量分析仪、高速相机等,涉及领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究多种领域等。

第6年

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压电旋转平台压电旋转平台

价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title型号:压电旋转平台原产地:中国大陆 更新时间:2026/10/9 8:12:27

产品摘要:AU-XRT系列压电旋转台是一款紧凑的高精度的旋转平台。该系列旋转台采用专利轴承技术,使压电旋转平台的径向、轴向和倾斜方向上的旋转误差都非常的小。这使的该系列旋转台成为市面上最精确地产品。该系列平移台由滑块驱动和超声波马达两种驱动方式,可进行连续旋转,对角度无限制,并且集成了光学编码器闭环控制,使压电旋转台拥有极高的分辨率和可重复性。

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详细内容

高精度紧凑型压电旋转台


AU-XRT系列压电旋转台是一款紧凑的高精度的旋转平台。该系列旋转台采用专利轴承技术,使压电旋转平台的径向、轴向和倾斜方向上的旋转误差都非常的小。这使的该系列旋转台成为市面上最精确地产品。该系列平移台由滑块驱动和超声波马达两种驱动方式,可进行连续旋转,对角度无限制,并且集成了光学编码器闭环控制,使压电旋转台拥有极高的分辨率和可重复性。

上海昊量光电设备有限公司推出的压电旋转台按照使用马达的不同可以分为两类。

1)使用超声波马达驱动的旋转台,AU-XRT-U系列。

AU-XRT-U系列是由超声波压电马达驱动的紧凑而精确的旋转台。其与空气轴承旋转台拥有相媲美的旋转精度和误差但是却拥有更小的体积和更低廉的价格。与其它压电技术相比超声波压电电机拥有更长的使用寿命、更低的功耗并且无噪声。并且集成了光学编码器闭环控制,精度最高可达到0.0002°,速度最大可达到1080°/s。该系列用AU-XRT-U30和AU-XRT-U40两款旋转台。

Fig1 运动误差测量

Fig2 AU-XRT-U


2)滑块式压电马达驱动旋转台AU-XRT-A.

AU-XRT-A采用滑块式压电马达驱动,利用专利轴承技术,即使在旋转过程中也可以主动将径向误差运动补偿,这使得其成为市场上独一无二的最为精确的压电旋转台,AU-XRT-A的径向误差小于500nm,可以与空气轴承精度相媲美,并且体积紧凑价格低廉,并且可以提供真空和磁性应用的产品。

Fig3. 运动误差测量

Fig4.AU-XRT-A旋转台


主要特点

l 高精度(200µ°)

l 高速度(1080°/s)

l 可在真空10-6mbar和磁性(1.5T)条件使用

主要应用

l 微型CT扫描仪

l X射线衍射系统

l 电子显微镜

l 同步加速器

l 计量学

产品参数:


AU-XRT-U30

AU-XRT-U40

AU-XRT-A

Drive principle:

ultrasonic piezo motor

stick-slip

Radial error motion:

< 5 µm (-SB) or < 1 µm (-PB)

down to 500 nm

Axial error motion:

< 3 µm (-SB) or < 0.5 µm (-PB)

< 1 µm

Tilt (wobble):

< 50 µrad (-PB)

< 100 µrad

Load capacity:

< 1 kg

≤ 1 N (100 g)

Aperture:

7mm

10 mm (with P sensor) or 1/2’’ (with S sensor


Driving torque:

14 Nmm

20 Nmm


Holding torque:

7 Nmm

10 Nmm


Speed:

from 8 m°/s up to 3 rev/s

± 2 rpm

Resolution:

6.25 m° (-S)

6.25 m° (-S) or 200 µ° (-P)

6.25 m° (-S)


热门标签:压电旋转平台

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