上海昊量光电推出的高速精密压电偏转镜采用压电陶瓷直推驱动，零摩擦的柔性铰链为导向系统使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。镜子只需要简单的固定到偏转台上，可提供2毫弧度的偏转行程。在整个偏转行程中可达到亚微弧度的分辨率。低的移动质量和优异的控制系统可以提供极佳的响应时间和和速度。

快速偏转镜、偏转镜、压电偏转镜、快速倾斜镜、Piezo Tip/Tilt Mirror 快速Tip/Tilt偏转镜

高速精密压电偏转镜是为了满足在光学成像和检测系统中镜子超快超精密定位的需求设计的。高速精密压电偏转镜采用压电陶瓷为驱动，利用无摩擦的柔性铰链导向系统，使偏转镜拥有体积小、无摩擦，定位精度高等优点。

该偏转镜子只需要简单的固定到偏转台上，可提供2毫弧度的偏转行程。在整个偏转行程中可达到亚微弧度的分辨率。低的移动质量和优异的控制系统可以提供极佳的响应时间和和速度。

上海昊量光电设备有限公司的高速精密压电偏转镜有以下几款产品：

AU-NPS-q-2A为qx偏转镜，该偏转镜的偏转行程为2毫弧度，分辨率可达到亚微弧度。封闭的封装可以提供更高的稳定性和可靠性。采用不锈钢材质，以及柔性铰链导向系统和优异的闭环控制系统使其拥有极快的响应速度和时间，响应时间小于1毫秒。自振频率在空载下可达到5000Hz。

AU-NPS-qg-2B为快速Tip/Tilt偏转镜，该偏转镜的闭环摆角可达±1微弧度。在整个摆角行程中分辨率可达到亚微弧度量级。采用铝合金材质，低的移动质量以及优异的闭环控制系统可以提供极佳的响应时间和速度。

AU-XPS-qg-2A为开环快速Tip/Tilt偏转镜，该偏转镜的开环摆角可达±1微弧度。在整个摆角行程中分辨率可达到亚微弧度量级。该产品的带宽可达到2kHz，低的移动质量以及优异的开环控制系统可以提供极佳的响应时间和速度，信号响应时间可达到5ms。

u 产品主要特点

l 亚微弧度的分辨率

l 超快响应时间

l 柔性铰链导向系统

l 高的可靠性

l 高的带宽

u 主要应用

精确光束控制、图像抖动校正等。

u 主要参数

产品参数		AU-NPS-q-2A	AU-NPS-qg-2B	AU-XPS-qg-2A
Material		Stainless steel	Aluminium (Electroless nickel plated)	Aluminium (Electroless nickel plated)
Size (mm)		35 (high) by 30 (diameter)	56 high x 60 diameter	35 high x 30 diameter
Range (mrad)	Minimum		±1	±1.25
	Typical	± 1	±1.05	±1.4
	Maximum
Resonant frequency: 0g load (Hz) /Typical		5000	1000	2000
Position noise	Fast	0.05µrad	15 nrad
	Medium		6 nrad
	Slow		2 nrad
Linearity error (peak)	Minimum	0.2%
	Typical		0.03%
	Maximum		0.05%

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高速压电快速倾斜镜Aunion_Piezo_Tip_Tilt_Mirror

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