AU-NPS-X-5A是一款已推出全球市面上体积最小的闭环一微亚纳米级别的微动台。体积只有23 x 16.5 x 7.6 mm（长′宽′高）。应用电容位移传感器，位移分辨率达到亚纳米级别。空载下的自振频率更是高达8000HZ。采用铝合金材质，其拥有较轻的质量和高的刚度，使其有高的带宽，在最大负载的情况下响应时间可达到亚毫秒级别。

②超快一维亚纳米定位平台

AU-NPS-X-10A是一款超快的一维亚纳米微动台，用于高速的、超精密的应用。该设备在空载下的自振频率高达9500HZ。在7g负载的情况下仍可达到8700HZ。并且该产品具有良好的位置重复性。拥有良好的响应速度，响应时间达到毫秒量级。并且该款产品可按照不同需求进行工业定制。

③超大行程的一维纳米微动台

AU-NPS-X-500A采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其具有较紧凑的体积，使用电容传感器，在整个行程中分辨率精度可高达亚纳米级别。使用双传感设计，可提供更快的阶跃响应，提高有效载荷出现变化时的稳定性，并拥有更大的带宽，使其拥有更快的响应时间。

④高负载大推力一维亚纳米微动台

AU-NPS-X-30B是一款高负载的微动台，最高负载可高达10kg。其拥有极宽的带宽高达1KHZ。空载下的自振频率更是高达5000HZ。

除了以上几款产品AU-NPS-X-15A/15D这两款亚纳米一维微动台也拥有优异的性能。外加负载可高达5kg。拥有较高的带宽，在50g负载的情况下，响应时间可达毫秒量级。AU-NPS-X-15D和AU-NPS-X-15A属于相同型号，但是具有更高的高度（15.5mm），因此拥有更高的刚度，因此具有较宽的带宽、较低的稳定时间和较高的自振频率。

u 主要特点

l 亚纳米的分辨率

l 高的带宽

l 高速响应

l 高的可靠性

l 结构紧凑

l 压电陶瓷驱动

l 柔性铰链设计

l 电容位移传感器闭环反馈

u 主要应用

磁头和磁盘驱动测试、计量学、干涉度量学、原子力显微镜等

u 产品主要参数

型号参数			AU-NPS-X-5A	AU-NPS-X-15A	AU-NPS-X-15D	AU-NPS-X-500A	AU-NPS-X-30B	AU-OEM-X-10A
Material			Aluminium	Stainless steel 316	Stainless steel 316	Titanium & Aluminium Alloy	Titanium	Titanium
Size			23 long x 16.5 wide x 7.6 high	60 long x 40 wide x 13.5 high	60 long x 40 wide x 15.5 high	60 x 60 x 20	60 long x 40 wide x 15.5 high	62 long x 40 wide x 22 high
Range (mm)		Minimum		± 7.5	± 7.5	500	± 15	± 5
		Typical	6.5	± 8	± 8			± 6
		Maximum
Resonant frequency: 0g load		Minimum		3000 HZ	3500 HZ	260 HZ	4500 HZ
		Typical	8000 HZ				5000 HZ	9500 HZ
		Maximum
Resolution			sub-nanometer			1 nm	sub-nanometer
Maximum load			5 g	5 kg	5 kg	1 kg	10 kg		0.2 kg
Position noise(1σ ) /nm_rms	Fast			0.2	0.2		0.12		0.05
	Medium		0.1	0.1	0.1		0.09		0.07
	Slow			0.05	0.05		0.04		0.1
Linearity error (peak)/%	Minimum
	Typical		0.1	0.01	0.01	0.02	0.01		0.01
	Maximum		0.2	0.02	0.02		0.02		0.02

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