AU-NPS-XY系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计，使其达到纳米的分辨率和重复性。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫量。

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AU-NPS-XY-100系列纳米二维定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。

全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计，电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用，而且拥有高的精度，可达到亚纳米量。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫量。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。

利用有限元分析对柔性铰链结构进行分析，使其在整个行程中产生的角位移低于25微弧度。在整个行程中可以保持更好的直线性。线性误差小于0.01%，滞后小于0.005%。

上海昊量光电设备公司推出的亚纳米二维微动台主要包括NPS-XY-100A和NPS-XY-100B两款产品。产品性能大体相似。材质有所差异。

其中AU-NPS-XY-100A采用超不胀钢（因瓦合金）材质，其热膨胀系数小达到0.3ppm K^-1，使热漂移达到小，这对于纳米的工作台来说是其重要的。

AU-NPS-XY-100B采用铝合金结构，虽然相对于因瓦合金来说有较高的热膨胀系数（23ppm K^-1），但是由于其拥有较轻的移动质量，因此具有更高的速度。

u 主要特点

l 亚纳米的分辨率

l 高的带宽

l 高速响应

l 高的可靠性

l 结构紧凑

l 压电陶瓷驱动

l 柔性铰链设计

l 电容位移传感器闭环反馈

u 主要应用

高精度显微镜、原子力显微镜、扫描探针纤维镜、近场扫描光学显微镜等。

u 产品主要参数

型号参数		AU-NPS-XY-100A	AU-NPS-XY-100B
Material		Super Invar (Bright nickel plated)	Aluminium (Bright nickel plated)
Size （mm）		100 x 100 x 23	100 x 100 x 23
Range（mm）	Minimum	± 50	± 50
	Typical	± 55	± 55
	Maximum
Resonant frequency: 0 g load （HZ）	Minimum		450
	Typical	350	500
	Maximum
Maximum load （kg）	Minimum
	Typical		1
	Maximum	1
Position noise （nm rms）	Fast	0.7	0.7
	Medium	0.5	0.5
	Slow	0.25	0.25
Hysteresis (peak to peak)	Minimum
	Typical	0.005%	0.005%
	Maximum	0.01%	0.01%
Linearity error (peak)	Minimum
	Typical	0.01%	0.01%
	Maximum	0.02%	0.02%

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