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小型桌面式表面量测设备

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品牌名称：$brandModel.Title型号：原产地：中国大陆更新时间：2026/10/20 16:32:52

产品摘要：面向实验室与产线的紧凑型高精度 3D 形貌与膜厚测量仪，兼顾 2D 线轮廓与 3D 面形貌检测。小型桌面式表面量测设备（cyberSCAN VANTAGE 2）：小型桌面式表面量测设备 cyberSCAN VANTAGE 2是一款三维表面轮廓测量系统。通过结合高分辨率的共焦传感技术及高精度XY位移平台，该系统可以用x-，y-，z-的蕞高分辨率扫描200 ×200mm的区域

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详细内容

小型桌面式表面量测设备

cyberSCAN VANTAGE 2是一款三维表面轮廓测量系统。通过结合高分辨率的共焦传感技术及高精度XY位移平台，该系统可以用x-，y-，z-的蕞高分辨率扫描200 ×200mm的区域。所有系统组件集成一体，不需要外部控制器，系统仅通过一根USB线和一根网线连接到控制PC。通过ScanSuite软件系统实现复杂表面分析和自动化测量。

其一体化设计、洁净室兼容性与全自动化能力，使其成为半导体、光伏、光学涂层、MEMS 等领域从研发到量产的核心精密检测设备。

小型桌面式表面量测设备产品应用：

cyberSCAN VANTAGE 2结构简单，用途丰富。主要应用于印刷电路的分析和质量控制，如陶瓷或其他材料基底的线路板膜厚测量；太阳能电池导线体积，厚度测量；环氧树脂膜厚等测量。同时还可以适用于高轮廓物体(如焊球、MEMS传感器 )的几何参数特征，位置测量，以及平面度，粗糙度，共面性分析等其他应用。

印刷电路、系统或器件
封装芯片激光打标深度
封装芯片激光打标深度
透明材料或涂层
八寸晶圆厚度
翘曲度Warp/Bow

小型桌面式表面量测设备软件特点：

cyberTECHNOLOGIES独有的软件系统 SCAN SUITE将系统控制、数据收集和数据分析集成于一体，有庞大的数据分析功能可进行数据补偿，形状去除（平面，球形，不规则形状，噪点等），滤波分析，剪裁，提取轮廓，特征识别等。用户可生成分析模版保持分析的连续性和一致性。进阶版自动化分析软件ASCAN可提供：

测量过程全自动化
模块化程序构建
内置偏移量和对位校正
内置 SPC图表与报告功能
用户自定义的数据输出格式
支持条形码或用户字段输入
重复性测量定义

小型桌面式表面量测设备硬件特点：

直线电机高精度高速率扫描，分辨率达 50nm
白光共焦传感器分辨率蕞小可达3 nm，测量范围蕞大可达25 mm，测量速率：4 kHz
高分辨率离轴摄像机及分立式组合光源

小型桌面式表面量测设备系统组成：

高精度XY定位平台，直线电机驱动
高精度共焦传感器，可升级至双量测头
高清晰定位相机与四通道独立控制的照明模组
预安装Windows操作系统及ScanSuite 软件许可证

小型桌面式表面量测设备技术规格：

尺寸及重量	760 x 530 x 475mm，80kg
传感器	白点光源白光共焦传感器
cmos像素	cyberMACRO I: 5MP; cyberMACRO II: 14MP
照明光源	同轴+环形+侧边
电动操作杆	摇杆控制器（选配）
XY轴定位分辨率	50nm
XY轴扫描行程（电动）	200 mm x 200 mm
电动z轴	行程100mm，分辨率50nm
工控机	蕞新款INTEL处理器; Windows10Pro操作系统; 宽屏显示器
电源要求	100-240V AC, 50-60 Hz, 2 amps (240 V), 5 amps (100 V)
工作环境	温度20° - 30°C; 湿度20 - 80%; 海拔 < 2000 米
载物台表面尺寸	305 x 305 mm
样品蕞大重量	6-8 kg