型号	行程范围 (mm)	驱动力（N）	分辨率 (nm)	重复精度 (nm)	速度（max）(mm/s)
XVS-1-40	25(SC版30)	1	1250/312/78/5	±80(单向) / ±160(双向)	100(真空50)
XVS-3-40	25(SC版30)	3
XVS-3-60	40(SC版48)	3
XVS-3-80	50(SC版69)	3			50(真空25)
环境使用要求	工作温度-30℃~+70℃ 湿度要求20%-90% RH

XVS系列垂直位移台

·定位：高精度纳米级垂直定位平台，为轻载精密应用设计。

·核心特点：

·采用单Crossfixx™超声压电电机，实现无振动、静音操作。

·断电自锁功能，断电后仍保持位置稳定。

·可选质量补偿模块（MC1-MC4），负载能力提升至350g。

·兼容HV/UHV真空环境，热耗散<5W，适合稳定纳米定位。

XPS系列垂直位移台核心参数表

型号

行程范围 (mm)

驱动力（min)（N）

分辨率 (nm)

重复精度 (nm)

速度（max）(mm/s)

XVP-80

1250/312/78/5

±50(双向) /±2500(双向)

50/100

环境使用要求

工作温度-30℃~+70℃

湿度要求20%-90% RH

XPS系列垂直位移台

·定位：高负载、高速垂直运动平台。

·核心特点：

·双Crossfixx™电机并联，驱动力达15 N（保持力30 N），负载能力2.5 kg。

·12V低电压驱动，适合嵌入式系统集成。

·可选低磁/非磁轴承（-LM/-NM），减少磁场干扰。

关键选型建议：

5nm分辨率型号必须搭配XD-M控制器

UHV版本需指定无护套电缆和特殊连接器

超过100g负载建议采用MC1-4补偿方案

·需纳米级定位：选择XVS-3-40-5-HV（5 nm分辨率，25 mm行程）。

·需高速大负载：选择XVP-80-1250（1250 nm分辨率，1000 mm/s速度）

应用场景

·光学系统校准

·真空环境应用

·生物样本操作

·生产线高速检测
1000 mm/s扫描速度实现PCB板缺陷快速筛查。

·重型装配
机器人末端执行器搬运2.5 kg光学元件（双电机30N保持力防滑落）。

·医疗设备驱动

手术机械臂的垂直进给（12V低压安全驱动，非磁轴承避免MRI干扰）

更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

关于昊量光电：

上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。

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