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半导体X光镀层测厚仪

半导体X光镀层测厚仪

点击次数:4929

价格:¥电议

更新日期:2026/9/9 16:27:18

生 产 地:中国大陆

产品型号:

简单介绍:电镀工艺在集成电路半导体芯片中广泛应用,针对电镀厚度的厚度是否合格需要进行快速的检测判断,天瑞仪器生产的半导体X光镀层测厚仪检测速度快,精度高,而且操作简单方便,使用成本低等优势得到了国内外半导体行业客户的致。

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详细内容

半导体X光镀层测厚仪
仪器概述
电镀工艺在集成电路半导体芯片中广泛应用,尤其是ic芯片插件中的镀锡,集成电路中接触点镀金等,针对电镀厚度的厚度是否合格需要进行快速的检测判断,天瑞仪器生产的半导体X光镀层测厚仪检测速度快,精度高,而且操作简单方便,使用成本低等优势得到了国内外半导体行业客户的致。

半导体X光镀层测厚仪门针对镀层厚度测量、镀层元素的的种类及含量的快速无损分析而设计,具如下特点:
1.微小焦斑X射线测量系统
2.高精度移动平台及定位装置
3.大面积高分辨率探测器
4.半导体X光镀层测厚仪采用FPTHICK软件实现精确计算,实现对单镀层,双镀层,三镀层和合金镀层的测试
5.防碰撞保护装置保护测试机构和样品
使用的激光打孔技术,制作出Φ0.1mm以内微小孔准直器。实现了小Φ0.25mm的光斑,满足客户的测试需求。
高精度二维样品移动平台,可定位测试点,重复定位精度达5μm以内
用户可通过鼠标点击视频范围内的任意点,进行定点测试
半导体X光镀层测厚仪采用高度定位激光,自动调节测试机构的升降运动,测试不同厚度的样品具有相同的测试距离,从而了结果的正确性。采用大面积(25mm^2)SDD 半导体探测器,即实现高分辨率,亦足够高的记数率,从而实现精确测量。
采用FPTHICK软件:通过复杂的数学运算,计算出每中元素之间的相互影响系数,对测试结果进行修正,能提高测试的精确度。
该软件不但能计算出合金镀层的厚度,可同时分析出该合金镀层中各种元素的含量,实现厚度含量步到位。

实测案例


性能参数
元素分析范围从硫(S)到铀(U);
次可同时分析多24个元素,5层镀层;
分析检出限可达2 PPm,薄可测试0.005um;
分析含量般为2 PPm到99.9%;
镀层厚度般为在50um以内(每种材料有所不同);
任意多个可选择的分析和识别模型;
相互独立的基体效应校正模型;
多变量非线性回收程序;
多次测量重复性可达0.1%;
工作稳定性可达0.1%;
温度适应范围为15℃至30℃;
电源:交流220V±5V;(建议配置交流净化稳压电源)。
3 仪器特点:
半导体X光镀层测厚仪Think800A是门针对镀层厚度测量、镀层元素种类及含量的快速无损分析的需求,特设计的款产品;
采用上照式结构,以满足不规则表面样品的测试要求;
采用美国新型的Sdd探测器,高分辨率探头使分析结果更加;
采用高度定位激光,可自动定位测试高度,以满足不同规格样品的镀层测试。同时定位激光精确定位光斑,以确保测试点与光斑对齐;
高精度移动平台可精确定位测试点,重复定位精度小于0.005mm;
内置φ0.1mm的小孔准直器,可以满足微小测试点的镀层测试;
多重防辐射泄露设计,具有良好的射线屏蔽作用;
半导体X光镀层测厚仪内置高精度移动平台,通过测试软件可视化操作:鼠标可控制移动平台,鼠标点击的位置就是被测点;
采用网口传输数据,数据传输稳定且快。
4 仪器配置
SDD电制冷半导体探测器;
X光管;
高低压电源;
双激光定位装置;
高度传感器;
保护传感器;
铅玻璃屏蔽罩;
信号检测电子电路;
半导体X光镀层测厚仪精密二维移动样品平台,探测器和X光管上下可动,实现三维移动。

公司介绍
天瑞仪器是国内分析仪器的企业,国内分析仪器行业的家也是目家上市公司,股票代码:300165,1992年成立至,直门于X射线荧光光谱仪的研发、生产、销售及服务。经过整整25年的技术积累,已拥有多项和高精尖技术,拥有多个成就。
公司拥有多年的技术沉淀和丰富的技术底蕴,多项核心,知名大学本科研发人员近百名,院士1名(战略指导),博士18名,高工程师23名,硕士27名。公司研发中心已被授予重点科研单位博士后工作站。

引进ERP管理系统,大大提高工作效率,公司已通过ISO9001质量体系认证。的生产工艺流程和质量管理制度,标准化的生产流程了仪器的质量。从仪器的核心零部件检验,生产组装,标定考核各个流程严把质量关,坚决杜绝不合格产品流入下个环节,天瑞仪器作为行业的掌舵者参与起草和制定了多项设备标准。

公司拥有完善的售后服务流程,的技术售后团队,在国内30个大中城市和工业集中地区都设有售后服务网点,为企业节省了采购和服务成本,为客户提供“快速、、到位”的服务和个性化服务,售后服务工程师全部经过严格培训,具备丰富的技能和售后经验。全国24小时免费服务热线 提供服务指导,
工作人员在接到用户迅速响应,10分钟内安排的售后技术人员回复客户疑问,如有必要,并在7-24小时之内派工程师赶往用户单位。系统恢复正常运行。
天瑞拥有的理化实验中心和多功能展示大厅,可为客户提供相应的整体解决方案,天瑞为所售仪器提供终身的拓展空间,在客户新产品研发所需检测的其它项目,天瑞的化学实验室可为客户提供免费、快速的样品分析。
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