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科研级VCSEL多功能LIV光谱功率积分测试系统

科研级VCSEL多功能LIV光谱功率积分测试系统

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更新日期:2026/3/18 11:08:35

生 产 地:中国大陆

产品型号:

简单介绍:VCSEL(VerticalCavitySurfaceEmittingLaser,垂直共振腔表面放射激光)技术目前在在人脸识别、3D感测、汽车自动驾驶、手势侦测和VR(虚拟现实)/AR(增强现实)/MR(混合现实等应用领域越来越受到关注,莱森光学®可以为客户提供VCSELVCSEL-3DSENSING/TOF检测解决方案:LIV光谱/...

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VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,垂直共振腔表面放射激光)技术目前在在人脸识别、3D感测、汽车自动驾驶、手势侦测和VR(虚拟现实)/AR(增强现实)/MR(混合现实等应用领域越来越受到关注,莱森光学®可以为客户提供VCSELVCSEL-3D SENSING/TOF检测解决方案:LIV光谱/功率积分测试、NF近场特性测试、FF远场特性测试、BRDF/BTDF光学材料AR/VR特性测试、VCSEL专用积分球,实现对VCSEL单体、模组、及晶圆芯片的能量分布和均匀性测量、光谱波长及功率测量、近场远场测量等各种定制化应用需求。






















LS-VCS-SCI-LIV精密温控型LIV光谱功率积分测试系统由莱森光学专门针对基于3D-SENSING 脉冲激光LIV光谱测试研发而成,特别适合晶圆和模组封装用户在实验室对VCSEL/LD的研发使用,用于验证VCSEL/LD各个工艺过程中的光电特性。实现对VCSEL/LD单体、模组、及芯片的LIV、EIV、TIE、PCE、光谱波长及功率测量等。

LS-VCS-SCI-LIV精密温控型多功能光谱功率积分测试系统专门针对基于3D-SENSING 脉冲激光、脉冲LD/LED测试研发而成,该系统可用于对VCSEL、LD/LED光电特性检测,以保证VCSEL、LD/LED脉冲激光辐射光谱满足器件光学功能和IEC-60825-2激光安全-人眼安全应用需求。











主要功能特点



● 强大的专用软件分析功能,可以扫描测量LIV曲线,PCE曲线,温度-峰值波长-光功率曲线,可设置扫描精度和速度,可测量光电转换效率,自动保存测试数据



● 高精度光学分辨率光谱仪光谱范围400-1100nm可选,光谱分辨率0.1nm,实现光谱峰值波长和半高全宽(FWHM)测量,最快可实现2kHz采样速率,可扫描测量温度-峰值波长-功率曲线等



● 手动或全自动探针平台,可实现对晶圆或模组的自动化LIV光谱功率测试



● 可对样品精确控温,可设置扫描步长,可实现高速同步触发,可预设/自定义测量



● 多线程联用(大功率高精度电流源、高精度高速数字万用表、多通道同步数字万用表、功率探头、光谱仪、温度控制器等),可以实现光谱、功率、电流、温度等参数的程序化、自动化扫描测量



● 一体化工控机箱,高分辨液晶显示,自动化集成化操作软件



● 采用四线测量方法,实时记录实测电流、电压值,功率值,测试更准确



● 程序可设置连续及脉冲扫描两种模式



● 寿命老化检测功能:在恒定或脉冲条件下(电流、温度),每隔指定时间间隔测试记录一次光谱和功率数据













LIV测试软件界面

















VCSEL光谱随电流的变化














LIV、I-V、I-L 扫描曲线





























温度、峰值波长、光功率扫描曲线







主要技术指标
















































































型号




LS-VCS-SCI-LIV光谱功率积分测试系统




功率测量范围




≤50W(更大功率可定制)




光谱范围




400-1100nm




光谱分辨率




0.1nm(823-998nm)




积分球




2吋/4吋/6吋




温度范围




5℃-85℃




控温精度




±1℃




电流源输出范围(脉冲电流)




0-10A(更大范围可选:0-50A)




电流源精度




0.05%




电流可编程脉宽




100µs




电流精度




±0.07%+0.2nA




电流分辨率




10pA




三维位移台




X、Y、Z可调




探针台




选配




斜率(W/A)




Yes




阈值电流(mA)




Yes




内阻(Ω)




Yes




尺寸/重量




37×52×41cm,25kg




科研级VCSEL多功能LIV光谱功率积分测试系统

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