使用红外显微镜AIM-9000 及AIMsolution 分析软件，可以在对扫描点进行可视观察的同时，测定该扫描点的光谱。 本文向您介绍通过可视观察的同步测定对多层薄膜进行分析的示例
多层薄膜的测定
图1 为用切片机切成厚度为20 μm 的多层薄膜截面显微镜图像。由图可知，该薄膜至少由4 层构成。 水平放置多层薄膜样品，利用透射法进行光谱测定。如图2所示，首先指定样品和背景（BKG）的扫描点。本次分析的背景位置为没有薄膜的地方（空气），将扫描点1 和4 的光阑设为 50 × 50 μm，扫描点2 和3 的光阑设为20 × 50 μm。 背景扫描需要将光阑尺寸与扫描点设为相同的数值。如果在不同尺寸下选择了多个扫描点，将自动扫描各光阑尺寸下的背景。表1 为测定条件
分析结果：
图3 为测定得到的显微区域图像及各扫描点的光谱。 分析结束后，AIMsolution 分析软件会自动启动，可以轻松进行数据处理和光谱检索。图4 为AIMsolution Analysis 软件窗口。因为各扫描点的颜色与各光谱的颜色对应，所以易于进行比较。图5 为检索结果。上图为得到的光谱；中图为命中的光谱；下图命中列表。 使用该软件可顺利完成从扫描位置的确认到扫描、分析等一系列操作，为操作人员提供了有力的支持
总结 ：
通过可视观察的同步测定可以实时确认各扫描点的图像和光谱。 另外，因为AIMsolution 分析软件以相同颜色显示各扫描点及其光谱，所以不仅可视觉确认扫描信息，还可以简单地进行大气校正等数据处理和检索操作。 综上所述，使用AIM-9000、AIMsolution Measurement 软件和AIMsolutin 分析软件，在每一个操作步骤都可以瞬间获得准确的数据，实现了轻松分析
