随着电气电子设备的小型化和多功能化，仪器的零部件也不断微型化，因此超小型高性能的半导体零部件和传感器等光学元件被广泛应用。在微型化设备和零部件中，微米级的微小异物可能会导致仪器发生运行故障。因此为了防止此类问题的发生，查明异物来源极其重要。 岛津公司的异物自动分析系统（红外显微镜）AIM-9000 采用将微小部分作为测定目标的光学设计，可以在短时间内获得微米级异物的清晰光谱。本文向您介绍使用本系统对光学元件表面附着的约10 μm 微小异物进行测定的示例
光学元件上的微小异物
图1 为电子设备配置的光学元件零部件表面附着异物的显微镜照片。由图可知，异物在数μm～10 μm 左右，分布在元件表面
测定 ：
因为该异物所在的零部件表面为平滑且有光泽的金属，所以无需提取异物，适合不易发生破坏和丢失的反射法进行测定。 图2 为使用红外显微镜、采用该方法测定得到的异物红外光谱及其检索结果；表1 为测定条件。由此可知，对10 μm 左右的微小异物，可在20 秒左右的短时间内得到干扰较少的光谱。再利用仪器标准配置的光谱库进行分析，可以判断异物为乳酸盐
异物自动分析系统（红外显微镜）AIM-9000 采用以极微小部分为测定目标的光学设计，实现了别的信噪比（S/N 比）30,000：1。对极微小的异物，也可在短时间内得到优质的光谱。下文将以分布在氟化钡窗片上的φ10 μm 聚苯乙烯珠粒的测定结果为示例进行介绍。图3 为聚苯乙烯珠粒的显微镜照片。分别使用AIM-9000 和岛津公司传统机型，采用透射法针对聚苯乙烯珠粒进行测定。图4 为比较结果；表2 为测定条件；图5 为与红外分光光度计IRTracer-100 连接的AIM-9000 外观照片。
总结
总结：综上所述，异物自动分析系统（红外显微镜）AIM-9000 是对光学元件表面附着的约10 μm 的微小异物进行测定和识别的选择。
