S1000 放大倍率标准样品-光学计量器具

该标准样品是扫描电镜微米纳米长度精确测量的标准样品、是微米长度测量的高可溯源级别的量值传递工具。是多个国家标准文件GB/T 27788、16594、17722、20307、JJF1916等实施所必需的标准样品。

技术参数：

标准样品的均匀性：
本系列标准样品的片内线距均匀性由德国联邦物理研究所(PTB)使用一台大范围计量型扫描力显微镜( M-LRSFM进行测量，40µm、20µm、10µm和5µm的线距结构的相对标准偏差分别为<0.15%、<0.25%、<0.3%、<0.5%和<1%；片间线距的均匀性送国家有色金属及电子材料分析测试中心扫描电镜实验室进行检查，随机取10个标准样品，在相同扫描电镜工作条件下获取每个标准样品上每种线距结构的图像，在每个图像上的不同位置取若干个线距周期测量4个长度数据，

其测量结果标准偏差分别为：<0.39%、<0.19%、<0.21%和<0.19%
标准值和置信限：

本系列标准样品的线距值由德国联邦物理研究所(PTB)使用一台大范围计量型扫描力显微镜(M- LRSFM)进行测量，测量结果可直接溯源至米定义计量基准。各线距结构的测量值分别为：40000.6±4.2nm(X方向)、40001.8±4.2nm(Y方向)、20000.4±1.8nm(X方向)、20000.0±1.8nm(Y方向)、10000.2±0.5mm(X方向)、10000.0±0.5mm(Y方向)、5000.0±0.6mm(X方向)、5000.3±0.6mm(Y方向)、1000.4±0.7nm(X方向)、1000.4±0.7mm(Y方向)，置信限为95%，k=2。

测试使用计量基准装置主要仪器：计量型扫描电子显微镜标准装置

测量范围：线间隔结构（0~50）µm

不确定度/准确度等级：Ｕ=（1+2×10-3*p）nm，k=2（Ｐ-nm）

用途：
(1)可用于同时对任意两个垂直方向上的扫描电镜的图像的放大倍率进行检查或校正，是校准从10×~100,000×范围的图像放大倍率的有效的图形标准样品
(2)可用于对图像的X、Y方向上的畸变和边缘的畸变进行校验，是评价扫描电镜图像质量的个重要工具
(3)可直接用于同一量级物体长度的精确比对测量
(4)对样品台倾斜角和电子倾斜以及旋转调整功能的检验也有较好的作用
(5)利用标样上的“点子”图像，可对电子束作漂移检验和样品台复位检验
标准样品的稳定性：
标准样品基质材料为单晶硅或石英玻璃基片，材料性质稳定。在对标准样品进行观察时，可看到标准样品具有良好的导电性，并且在扫描电镜下所产生的图形具有很好的对比度，在扫描电镜下或光学显微镜下进行多次长时间的观察后，未见标准样品图形或线距结构发生变形或其他损坏，即标准样品在电子束重复照射下是稳定的。