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KT-Z1650CVD  高温真空蒸镀仪

KT-Z1650CVD 高温真空蒸镀仪

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更新日期:2023/9/17 8:18:06

生 产 地:

产品型号:KT-Z1650CVD

简单介绍:高温真空蒸镀仪,是一款小型真空镀膜仪,特别适合蒸镀一些轻金属,如 Al. Mg, 和Li等。同时也可对样品进行镀碳处理,Z大可处理的样品直径为50mm.。标准的旋转样品台可进行倾斜调节,非常容易适应各

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详细内容

高温真空蒸镀仪,是一款小型真空镀膜仪,特别适合蒸镀一些轻金属,如 Al. Mg, 和Li等。同时也可对样品进行镀碳处理,Z大可处理的样品直径为50mm.。标准的旋转样品台可进行倾斜调节,非常容易适应各种样品座。可选的样品台具有特殊的凹槽,可放置标准的载玻片,这在“石棉分析”需要镀碳层时尤为有利。
碳棒头在仪器中作为标准件。这是一个“快速释放头”,使用户在选择金属蒸发附件、碳丝及光阑清洗头时可方便地更换。放气系统具有互锁装置,避免样品受到干扰。涡轮分子泵可安装在任何轴上,并且可安全地“关闭”直接通大气。
优点
● 容易操作
● 均匀的样品涂层
● 方便多用户操作
● 可用于蒸碳及蒸镀金属
● 在排气过程中可防止样品损坏
● 碳棒或碳丝蒸发


以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图

637858771737832260197.png 原样品没有镀膜 637858771732996198687.png 115A 100秒 机械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分钟 637858771732684194803.png 115A 120秒 分子泵抽20分钟


真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色


高温真空蒸镀仪KT-Z1650CVD

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

≤1200W

最大输出电压电流

电压≤12V 电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62 (最大可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品蒸发源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

≤1800℃

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳

预留真空接口

KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa)

数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa)

分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa)


KT-Z1650CVD,,高温真空蒸镀仪

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