实验室非标搭建钨丝 钨舟热源加热腔体

等离子发生器真空石英腔体

等离子清洗机腔体

热蒸发腔体

石英真空腔体

不锈钢石英腔体

真空加热腔体

钨丝 钨舟热源加热腔体

真空实验腔体 多功能扩展真空腔体

参数

腔体结构：不锈钢+石英罩

腔体内径：≥φ145mm

腔体高度：不锈钢腔体座+石英罩 高度180mm

腔体接口：KF25真空法兰1个 KF16真空法兰2个 M6电极杆 2个（可选）进气调节阀1个（进气接口可选）

腔体真空：用双极旋片泵5分钟抽真空小于3Pa 分子泵抽20分钟 泵口小于1E-3Pa（分子泵抽管道竟可能粗 短）

腔体真空电极：最大电流100A 最大电压1000V

说明：腔体为公司生产时多做的配件 腔体不支持修改 只出售库存标准的产品 客户购买时需一定的动手能力及搭建设备经验 如搭建等离子辉光

或者热蒸镀 等

产品售出 无质量问题不退 不换 且不提供设备搭建的技术支持及资料 （产品为平价出售 技术服务不到位请多包涵 感谢支持）