晶圆镀钛镍金膜厚仪

晶圆镀钛镍金膜厚仪采用多导毛细管聚焦光学系统：X射线管激发出来的X射线在毛细玻璃管的内壁以全反射的方式进行传输，利用毛细玻璃管的弯曲来改变X射线的传输方向，从而实现X射线汇聚。

晶圆镀钛镍金膜厚仪性能特点：

zhuan业化程度高

多通道数字谱图界面，清晰化呈现被检样品的元素谱图

软件具有定性分析、自动元素识别功能，方便对样品元素的识别和定性 具有叠加虚谱功能，方便作不同批次样品的定性对比分析

软件具有底材校正、能量校正、强度校正、密度校正等多种校正功能

除了检测镀层厚度以外，还可以检测面密度，以及合金镀层比例和合金成分

智能化程度高

开盖自动弹出样品平台

支持多点测试，网格测试

操作简单

通过双摄像和双激光点，可快速 ding位需要测量的区域摇杆与快捷键按钮，快速检测，提升工作效率

准确检测

毛细管聚焦光学结构搭配 jing准ding位平台，聚焦直径小至10um

高分辨率Fast-SDD探测器可对 chao薄样品准确分析

晶圆镀钛镍金膜厚仪技术参数：

激发源

X射线管标准：铍窗Mo靶微聚焦射线管 靶材可选：钨靶

高压单元管电压：5KV-50KV(可调) 管电流：50uA-1000uA(可调)

初级滤波片4种可切换：Ni10um;空气；Al1000um;Al500um

X射线光学系统多导毛细管 标准：φ25um,可选：φ8um、φ15um、中50um

探测器

探测器电制冷硅漂移半导体探测器(Fast-SDD)

数字多道分析器分析道数：4096道

元素范围从铝到铀，可同时测量24种元素

分析层数可分析五层镀层

检测限0.001µm

样品位置

视频系统双激光点位系统，辅助放置样品十字线，带有经过校准的刻度和测量点 指示全景+微区双相机，光学 jian 控测量位置

放大倍数微区测试点图像放大500X

对焦自动对焦

样品平台

快速XY平台高 jing 度可编程XY平台

可用样品放置区域宽*深(mm):400*400

移动范围XY轴：250mm*250mm,Z轴：140mm

平台移动重复 jing 度单向小于2um

测试实例

晶圆镀钛镍金膜厚仪应用方向：