X荧光光谱仪是种波长较短的电磁辐射，通常是指能t范围在0.1^-100keV的光子。X射线光谱仪与物质的相互作用主要有荧光、吸收和散射三种。X射线荧光光谱仪是由物质中的组成元素产生的特征辐射，通过侧里和分析样品产生的x射线荧光，即可获知样品中的元家组成，得到物质成分的定性和定量信息。
X荧光光谱仪优点
a) 分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的部待测元素。
b) X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。(气体密封在容器内也可分析)但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定 。
c) 非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同试样可反复多次测量，结果重现性好。
d) X射线荧光分析是种物理分析方法，所以对在化学性质上属同族的元素也能进行分析。
e) 分析精密度高。
f) 制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。

ROHS检测仪就是X射线荧光光谱仪，其分析原理也就是X射线荧光光谱仪的分析原理。X射线荧光光谱仪通常可分为两大类，波长色散X射线荧光光谱仪(WDXRF)和能量色散X射线荧光光谱仪(EDXRF)，波长色散光谱仪主要部件包括激发源、分光晶体和测角仪、探测器等，而能量色散光谱仪则只需激发源和探测器和相关电子与控制部件，相对简单。