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晶圆清洗工艺水在线硅酸盐监测仪PROCON6000
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晶圆清洗工艺水在线硅酸盐监测仪

晶圆清洗工艺水在线硅酸盐监测仪:本仪器为水中可溶性二氧化硅专用在线监测设备,采用分光光度法检测原理,水样中的硅酸与试剂反应生成具有还原性的 β‑硅钼酸络合物,仪器通过测定该有色复合物吸光度,换算出水样中溶解性二氧化硅含量。产品主要用于热力蒸汽品质监控、离子交换水处理系统工况调节。整机由智能主控单元与一体化分析单元组成,配备触控操作屏与高性能微处理器,内置测量反应腔体、电磁阀、精密计量泵及集成管路组件,运行稳定性强,能够长时间不间断完成水样二氧化硅的在线连续检测。
晶圆清洗工艺水在线硅酸盐监测仪 产品特点:
英国戈普硅酸盐在线分析仪技术参数
型号 | PROCON6000 |
测量范围 | 1-100ppb; 4-999ppb; 0.02-3ppm SiO2 |
分辨率 | 0.1ppb; 1ppb; 0.01ppm |
精度 | 2%终值 |
重复性 | 0.5ppb; 4ppb; 0.02ppm |
零点稳定性 | 自动调节 |
样品 工作压力 温度 样品体积 样品条件 化学条件 排放 | 0.1-10 bar 18-30℃ 25ml/每个分析(冲洗除外) 清澈, 颗粒<0.5g/L; <50µm pH4-8, PO43-, NH3<Si 无压开放式 |
试剂 数量 储存温度 单次分析消耗量 总体积 分析次数 | 2 10-30℃ 0.3/1.2ml 250/500ml 约400次 |
分析 周期 间隔 | 13min 含冲洗 1-99min 或外部启停 |
电流输出 | 0/4-20mA, Z大负载500Ω |
显示 | 240×128,触摸屏 |
工作温度 | 5- 45° |
电气连接 | 1.5mm2环形插头连接 |
继电器 | 1×报警,零电势接触 230v/50Hz, 3A 1×限值,零电势接触 230v/50Hz, 3A 1×分析,零电势接触 230v/50Hz, 3A |
远程控制 | 零电势接触,18V DC,ca.4 mA |
电源电压 | 110-230V (50/60Hz) |
能耗 | 大约16VA |
尺寸 | 640×315×190mm(H×W×D) |
防护等 | IP65 |
热门标签:硅酸盐分析仪,硅酸盐在线分析仪













