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更新时间:2026/10/9 13:03:11关注度:624
关键词标签:小型干式真空泵 DSP50,⁄,,DSP250,⁄,,DSP500
支付方式:
■ 限压力...............................................
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DSP50:20Pa、DSP250 ⁄ 500:0.5Pa
■ 洁净排气
没有油蒸气,粒子的逆流
■ 无润滑油
无同步齿轮,也不需要润滑油
■ 携带方便
小型,轻量,抗外部干扰
■ 空冷规格
不需要冷却水
■ 初期排气时间短
大气压附近排气速度快
■ 节能
低消费电力設計
用途
・SEM,光刻
・医疗设备
・装载室,搬送室排气
・分析仪器
・加速器,离子源,电子枪的排气
・一般产业
・PVD ・R&D