四方光电股份有限公司
第4年
产品完善度：
更新时间：2026/9/7 20:05:47关注度：2353
关键词标签：红外气体传感器,气体传感器,半导体行业气体传感器
支付方式：
产品名称：红外气体传感器
产品型号：Gasboard-2060
红外气体传感器产品概述
红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。
红外气体传感器产品特性
红外气体传感器技术参数
| 检测原理 | NDIR |
| 检测气体 | SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重复性 | ±0.5% |
| 线性 | ±1%F.S. |
| 检测限 | 1ppm |
推荐产品
主营气体与环境传感监测设备、散热风机类产品的研发、生产与销售，提供配套传感检测技术支持；产品包含粒子计数器、粉尘浓度仪、各类气体检测器与变送器、冷媒传感器、温湿度传感器、温控器、空气质量检测仪、气体分析仪，以及汽车座椅通风风扇、车灯散热风扇..
在线咨询5分钟应答
