四方光电股份有限公司
第4年
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更新时间：2026/9/7 20:05:47关注度：2495
关键词标签：红外气体传感器,气体传感器,半导体行业气体传感器
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产品名称：红外气体传感器
产品型号：Gasboard-2061
红外气体传感器产品概述
红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。
红外气体传感器产品特性
红外气体传感器技术参数
| 检测原理 | NDIR |
| 检测气体 | WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重复性 | ±0.5% |
| 线性 | ±1%F.S. |
| 检测限 | 1ppm |
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