氦质谱检漏仪检测泄漏的6种方法_分析方法_技术文章

氦质谱检漏仪是真空检漏域里不可缺少的一种技术，设备具有检漏效率高、简便易操作、仪器反应灵敏、精度高、不易受其他气体的干扰等特点，该仪器在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪检漏中常用的两种方法是喷枪测试法及吸枪测试法，其实除了这两种方法之外，氦质谱检漏仪的检漏方法多达6种，且每种测试也各有自己的优点，氦质谱检漏仪检测泄漏方法一：吸枪测试法

吸枪测试法是通过正压的方法定位泄漏点。先，向测试部件内充入一定压力的探测气体。然后，吸枪探头对被测部件四周进行检测。如果存在泄漏，检漏仪会探测出外泄的探测气体从而定位泄漏点。

喷枪测试法具有定位泄漏、高灵敏度、操作简便、局部或整体测试等特点。

氦质谱检漏仪检测泄漏方法二：喷枪测试法

喷枪测试法主要用在真空环境下定位泄漏点。先，检漏仪将检测部件内部的气体抽到一定的真空度。然后，探测气体通过喷枪喷扫在部件的外表面。通过泄露点进入的探测气体流量定位泄漏点。

吸枪测试法具有定位泄漏、无需在真空环境下进行测试、操作简便等特点。

氦质谱检漏仪检测泄漏方法三：吸枪累积法

吸枪累积法要求测试部件可以承受过压和需要作为一个完整的产品被测试。将被测部件置于一个处于大气压力下充满探测气体的积累室内。在经过一段时间的积累，检漏仪分析腔体内的气体成分并且认气体浓度是否有增加，从而测量出漏率。其特点是方便集成在生产线上。

以上就是氦质谱检漏仪检测泄漏的6种方法了，如有不到之外欢迎指正！

氦质谱检漏仪检测泄漏方法四：背压法

背压法要求测试部件是已经密封好的，没有气体外泄也不能加压。将测试部件置于真空腔体内，灌入探测气体并加压。如果发现有泄漏，由于气压关系探测气体会进入到测试部件内部。随后将被测部件脱离真空环境。由于压差关系，原入到测试部件内的探测气体会脱附出来，同时被检漏仪检测出。背压法是高灵敏测试密封部件漏率的解决方案。其特点是具有高重复性。

氦质谱检漏仪检测泄漏方法五：氦罩法

氦罩法用于测试检测气体能否进入被测试部件。在测试腔体内部将测试部件与检漏仪相互连接并且抽气。腔体内充满检测气体。如果有泄漏，检测气体会渗透到测试部件里，从而检测出泄漏。

氦罩法可以实现高度自动化操作，具有高灵敏度、高产出、高重复性等特点。

氦质谱检漏仪检测泄漏方法六：真空箱测试法

真空箱测试法主要应用于生产线环境。测试部件被放置在充满探测气体的真空腔体内。如果发现有泄漏，探测气体会从测试部件内逃到真空腔体内，从而检测出泄漏点。

真空箱测试法具有高灵敏度、高产量、便于集成到产线上、易于校准、高重复性等特点。

原创作者：北京爱欧德仪器设备有限公司

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氦质谱检漏仪检测泄漏的6种方法

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