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康宁平面度仪Tropel FlatMaster 100

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更新日期：2025/12/2 15:07:26

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简单介绍：康宁平面度仪Tropel FlatMaster 100平面度仪测量多种不同指标： ?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线

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详细内容

康宁平面度仪Tropel FlatMaster 100

平面度仪测量多种不同指标：
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓；完整的分析系统：
?三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度

康宁Corning Tropel FlatMaster平面度仪应用领域：
?实现单个或多个平面的光学非接触一次性测量；
?适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料；
?适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/**化镓/石英/锗/铌酸锂；
?适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，超光滑面；

美国康宁Corning Tropel Flat Master平面度仪也称为平整度仪、平坦度仪，为精密部件的制造商提供了业界**的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。康宁Corning Tropel Flat Master平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。可以实现自动、快速、准确、稳定的测量，超过20年的工业应用，几百台的装机量。Flatmaster 100平面度仪提供了五种纳米级的解析度和高达50纳米的标准精度,能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行精密测量。

平面度仪可测量技术参数：

精度	50nm （2.0μ″）
重复性	15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
分辨率	5nm （0.2μ″）
可测量工件尺寸	5mm-100mm
动态测量范围	>100um
测量数据点	230,000
测量时间	5秒
电源	～220V 50Hz