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365nm 无掩膜数字光刻机 分辨率500nm 帧数100mmx100mm
价格：￥电议
品牌名称：$brandModel.Title型号： 原产地：中国大陆 更新时间：2026/9/21 9:08:50
产品摘要：波长 365nm 大帧 100mm x 100mm 分辨率 500nm 灰度光刻 128 levels 大曝光量 2000mJ/cm2 对准精度 <100nm 场曲率 < 1 um 速度 2.5mm2 /sec 输入文件 BMP, GDSII Z精度 <1 um 环境 20~25℃
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