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PlasCalc系列等离子体监控器
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价格:¥电议
更新日期:2012/3/8 16:46:51
生 产 地:美国
产品型号:
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详细内容
产品特点
- 1.0nm(半最大值全波)光学解析度
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200~1100nm波长范围
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快速建立和保存实验方法
调制步骤编辑
调制步骤编辑工具可以使用户简单、快速地设置、建立和保存实验方法。利用该工具可以对多数复杂的等离子体过程建立简便而的步骤设置:例如测量薄膜沉积情况、监测等离子蚀刻、检查表面清洁处理、分析等离子室健康控制情况、监测反常的污染和排放现象等。
用于简单的等离子体诊断的多重工具
PlasCalc型监控器配有操作软件,所提供的完整的公式编辑器可以进行所有需要的数学和算法功能。我们同时提供一个可选配的放射波长数据库,可以另外单独购买,它能够提供种类的鉴定;而波长编辑器则使用户完成信噪比的优化。操作界面包含两个窗口,可以同时显示真实的光谱和所有控制过程信息。
产品规格
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光谱范围
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200~1100nm
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光学解析度
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1.0nm(半最大值全波)
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数字/模拟转换器
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14 bit
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数字输入/输出
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8 x TTL
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模拟输出
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4 x [0-10V]
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连接方式
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USB 1.1
USB 1.1
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电力消耗
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12V直流电,1.25A
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电力需求
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90~240V交流电,50/60Hz
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尺寸
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257 mm x 152 mm x 263 mm
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重量
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5 kg
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