
同一产线上,液压站循环的是油,清洗工位用的是超纯水,光刻工序用的是光刻胶。介质不同,颗粒造成的后果却相似:磨损、堵塞、图形缺陷。检测需求因此从一机测一种介质,转向一机覆盖多条介质。普洛帝(PULUODY)作为油液颗粒检测领域技术创新者,在PMT-2上以油水双系设计回应这一变化。
多介质检测痛点
设备重复采购。油相、水相、化学介质各配一台,采购、校准与培训成本叠加。数据口径分裂。校准物质与报告模板不一致,同批样品可能得出不同等级。切换污染。油路残留进入水相,或水相残留稀释油样,计数随之失真。气泡与粘度干扰。水相微气泡易被误计,油相高粘度又使流速不稳。
油水双系原理
测量核心仍是光阻法:颗粒遮挡细窄光路,脉冲幅度换算粒径。变化发生在进样与光学参数这一层。设备内置介质识别与切换模块,按介质的粘度、密度与表面张力调整取样压力、流速和光学增益,无需更换核心检测部件。
油相路径。以稳定负压取样抑制油品析气,流速按粘度设定,使液流平稳通过检测池,避免脉冲展宽。水相路径。优化光路与阈值判定,降低纯水、试剂中微量气泡被误判的概率。切换与隔离。两条流路独立走管,切换时执行冲洗,油相与水相数据分别存储、各按标准出报告。
技术优势
一机覆盖油相、水相与部分化学介质,设备数量与校准工作量同时下降;量程1μm~400μm,选型可扩至0.03μm~3000μm;精密计量柱塞泵配合流量电磁控制,进样精度优于±1%;V8.9软件按介质分类存储数据,输出对应标准的污染度等级报告;在线检测与离线抽样两种模式并用。
适配介质表
类型 | 具体介质 | 选用注意 | 参考标准 |
油相 | 液压油、润滑油、绝缘油、汽轮机油 | 按粘度设定流速,避免析气 | ISO 4406:2021、GB/T 14039、NAS 1638 |
水相 | 超纯水、纯化水、注射用水 | 抑制微气泡,取样前冲洗管路 | GB/T 11446.1—2013、药典2025年版通则0903 |
化学介质 | 光刻胶、显影液、电子清洗剂 | 耐溶剂管路,避光取样 | 客户内控指标与SEMI相关规范 |
油水双系的价值不在能测多少种介质,而在切换之后数据仍然可比。介质适配、流路隔离、标准对应三件事同时成立,多介质检测才成为可用能力。选型时把样品清单交给供应方核对粘度、遮光性与报告口径,再确认流路材质与冲洗方案,比只看量程参数更有意义。
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