面板级封装的大面积基板上，气体均匀性是一道“面积题”

面板级封装（PLP）正在从概念走向产线。意法半导体在法国图尔的PLP试点生产线预计2026年第三季度投入运营，日月光在2026年5月宣布开发出310mm × 310mm面板级封装自动化产线，预计2027年上半年量产。PLP用矩形面板替代圆形晶圆作为加工载体，单次加工面积提升，单位成本随之下降。

面积放大之后，均匀性的逻辑变了

在圆形晶圆上，工艺腔体中的气体分布可以围绕中心轴对称来设计。矩形面板打破了这种对称性。更大的面板面积意味着气体从进气端到排气端的路径更长，停留时间的分布更难被“一刀切”地管理。PLP目前面临的一个核心工艺挑战是面板翘曲控制，而翘曲与热历史和气氛均匀性之间存在关联——基板不同区域经历的温度和气氛条件如果存在差异，应力分布的一致性就会受到影响。气体流量控制在这里的角色，不是简单地把气体送进腔体，而是参与塑造一个在数万平方毫米面积上相对均匀的气氛环境。

芯笙的位置

芯笙微纳的MFC产品在半导体和泛半导体气体输送场景中有配套基础。PLP对MFC的直接需求目前还处在早期阶段，但这个场景提出的问题——多区供气的流量分配、大面积腔体的气氛均匀性、以及与翘曲控制的间接关联——与芯笙在半导体刻蚀、沉积多路气体控制中处理过的协同逻辑有相通之处。对于PLP设备厂商来说，气体流量控制方案的价值，更多体现在它能不能在面板尺寸继续放大的过程中，维持气氛条件的可重复性。

来源：青岛芯笙微纳电子科技有限公司