聚焦双束电镜前沿应用，国仪量子FIB-SEM培训走进南京大学配位化学全国重点实验室

聚焦双束电镜前沿应用，国仪量子FIB-SEM培训走进南京大学配位化学全国重点实验室

文章转载自 [配位化学全国重点实验室]，部分内容有删改。

原标题：配位化学全国重点实验室举办双束电镜前沿应用培训

为充分发挥大型科研仪器的支撑作用，提升南京大学校内师生微纳表征与精密加工能力，10月8日至10日，南京大学配位化学全国重点实验室联合国仪量子，在仙林校区化学楼举办双束电镜前沿应用专题培训会。来自化学、材料、半导体等研究领域，从事电镜表征、定点微纳加工、透射电子显微镜（TEM）样品制备及器件失效分析的校内师生参加了本次培训会。

本次培训会立足实验室大型仪器平台建设与开放共享需求，围绕双束电镜的核心功能及前沿科研应用，设置理论讲解、案例分析与上机实操等环节，特邀国仪量子电镜方案总监王锋担任主讲。理论授课中，王锋系统介绍了聚焦离子束—扫描电子显微镜（FIB-SEM）的工作原理，重点讲解电子束成像与离子束加工机制、气体注入系统（GIS）辅助沉积与刻蚀、纳米机械手样品转移等内容。结合二维材料、储能材料、催化材料及半导体器件等典型科研案例，深入解析TEM薄片制备、截面表征、定点微纳加工及失效分析等技术的应用要点，并就参会师生在样品制备和实验方案设计中遇到的问题开展交流答疑。

上机实操环节在全重室双束电镜平台开展。参会师生依次进行样品装载、束流调试、定点刻蚀、气体沉积和图像采集等操作训练，进一步熟悉设备性能与操作流程。培训紧密结合实际科研需求，通过现场演示、动手操作和针对性指导，帮助师生加深对关键技术环节的理解，推动理论知识向实验技能转化。

双束电镜是开展微纳尺度表征与精密加工的重要科研设备。本次培训是实验室推进大型仪器开放共享、提升平台技术服务能力的具体举措。通过理论与实践相结合的系统培训，参会师生进一步了解了FIB-SEM技术的应用潜力，积累了相关操作经验，为优化实验方案、拓展研究手段和解决科研中的技术难题提供了支持。

配位化学全国重点实验室将持续面向科研需求，优化大型仪器开放共享与技术服务机制，常态化开展仪器应用培训和技术交流，充分释放平台设备效能，为学校化学、材料及相关交叉学科的前沿研究与人才培养提供有力支撑。

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来源：国仪量子技术 （合肥） 股份有限公司